[发明专利]旋转夹持装置

权利要求书

1.一种旋转夹持装置，包括：

基座；

夹持器，对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；

夹件，配置所述夹持器中，且在夹持基板的夹持位置和从所述基板中被卸除的卸除位置之间移动；以及

链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器，

所述链接连杆包括：

下部连杆，分别旋转地链接至所述基座和所述夹持器；以及

上部连杆，配置在所述下部连杆的上侧，分别旋转地链接至所述夹持器和所述基座，

所述夹件在所述夹持位置附近往所述夹持位置移动的期间，越靠近所述夹持位置所述夹件的垂直方向的速度越慢，

所述下部连杆的两侧旋转轴之间的长度比所述上部连杆的两侧旋转轴之间的长度更长，在所述夹持位置附近所述下部连杆的旋转角度比所述上部连杆的旋转角度小。

2.根据权利要求1所述的旋转夹持装置，其中，

所述基座的至少一部分被固定在基板传送架，

所述基座、所述夹持器、所述下部连杆及所述上部连杆，经所述夹持器处被施加的力，以1自由度4节连杆运动。

3.根据权利要求2所述的旋转夹持装置，进一步包括驱动部，通过对所述夹持器施加垂直于所述基板的力，使所述夹件在夹持所述基板的夹持位置和从所述基板中被卸除的卸除位置之间移动。

4.根据权利要求3所述的旋转夹持装置，其中，

所述夹件包括用于接触所述基板上面的平坦支撑面，

在所述夹持位置中，所述下部连杆和所述上部连杆互相平行，且

所述驱动部对所述夹持器施加垂直方向的力时，所述夹持器的瞬间速度具有与所述支撑面垂直的方向。

5.根据权利要求3所述的旋转夹持装置，进一步包括止动件，防止所述下部连杆对于所述基座超过一定角度进行旋转，

所述止动件与所述基座脱卸式地链接。

6.根据权利要求3所述的旋转夹持装置，进一步包括至少一个以上的磁性部件，分别被配置在所述基座和所述夹持器中，并利用磁力使所述夹件从所述卸除位置移动至所述夹持位置。

7.根据权利要求6所述的旋转夹持装置，其中，

所述至少一个以上的磁性部件包括：

配置在所述基座中的第一磁铁；以及

配置所述夹持器中的第二磁铁，

所述第一磁铁中与所述第二磁铁相对的面和所述第二磁铁中与所述第一磁铁相对的面具有相同的极性。

8.根据权利要求7所述的旋转夹持装置，其中，

所述夹持位置中，所述第一磁铁比所述第二磁铁相对地位于上侧。

9.根据权利要求7所述的旋转夹持装置，其中，

在所述卸除位置中，所述第一磁铁比所述第二磁铁相对地位于下侧。

10.根据权利要求7所述的旋转夹持装置，其中，

所述夹件在所述夹持位置和所述卸除位置之间移动的期间，以垂直于所述第一磁铁的表面的垂直方向为基准，所述第一磁铁的中心与所述第二磁铁重叠，且所述第二磁铁的中心与所述第一磁铁重叠。