[发明专利]旋转夹持装置

说明书

本发明涉及一种旋转夹持装置，其包括：基座；夹持器，可对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；以及链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器。

技术领域

本发明涉及一种旋转夹持装置。

背景技术

在基板的制备过程中，基板被固定在基板传送架被传送。最近，为了基板的轻量化，多种方法被执行，例如，基板以固定在基板传送架上的状态，垂直于地面直立地进入至溅射室。为了将基板稳定地固定在基板传送架上使用夹持装置。

现有的夹持装置，为了使夹件从卸除位置还原至夹持位置，使用压缩弹簧。压缩弹簧反复进行压缩和伸展从而产生质点，质点造成基板的品质及收率降低。此外，以压缩弹簧运作的夹件仅在压缩弹簧的压缩和伸展范围内运作，因此运作范围较小。运作范围较小的夹件不能稳定地固定棱角弯曲的基板。此外，压缩弹簧自身的还原力较大，因此对基板具有强力冲击的危险性。

如上所述的背景技术，发明者在本发明的导出过程中作为保有或已知技术，不能被视为本发明申请前对于一般公众公开的已知技术。

发明内容

发明所要解决的课题

一个实施例的目的在于使用磁性部件作为夹持位置还原手段，消减质点的发生。

一个实施例的目的在于使夹件在夹持位置附近往夹持位置移动时速度减小。

一个实施例的目的在于使所述夹件对于基板具有向上凸出的曲线形状的路径。

用于解决课题的手段

根据一个实施例，旋转夹持装置可包括：基座；夹持器，对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；和链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器。

所述链接连杆可包括：下部连杆，分别旋转地链接至所述基座和所述夹持器；上部连杆，配置在所述下部连杆的上侧，分别旋转地链接至所述夹持器和所述基座。

所述基座的至少一部分被固定在基板传送架，且所述基座、所述夹持器、所述下部连杆及所述上部连杆，可经所述夹持器处被施加的力，以1自由度4节连杆运动。

所述旋转夹持装置可进一步包括驱动部，通过对所述夹持器施加垂直于所述基板的力，使所述夹件在夹持所述基板的夹持位置和从所述基板中被卸除的卸除位置之间移动。

所述夹件在所述夹持位置附近往所述夹持位置移动的期间，越靠近所述夹持位置所述夹件的垂直方向的速度越慢。

所述夹件包括用于接触所述基板上面的平坦支撑面，且在所述夹持位置中，所述下部连杆和所述上部连杆互相平行，且所述驱动部对所述夹持器施加垂直方向的力时，所述夹持器的瞬间速度具有与所述支撑面垂直的方向。

所述驱动部对夹持器施加垂直方向的力的期间，所述夹持器的上侧向所述基座倾斜。

所述旋转夹持装置可进一步包括止动件，防止所述下部连杆对于所述基座超过一定角度进行旋转。

所述止动件可与所述基座脱卸式地链接。

所述旋转夹持装置可进一步包括至少一个以上的磁性部件，被配置在所述基座和所述夹持器中任何一个以上，并利用磁力使所述夹件从所述卸除位置移动至所述夹持位置。

所述至少一个以上的磁性部件包括：配置在所述基座中的第一磁铁；和配置所述夹持器中的第二磁铁，且所述第一磁铁中与所述第二磁铁相对的面和所述第二磁铁中与所述第一磁铁相对的面可具有相同的极性。

在所述夹持位置中，所述第一磁铁比所述第二磁铁可相对地位于上侧。

在所述卸除位置中，所述第一磁铁比所述第二磁铁可相对地位于下侧。