[发明专利]压电基板以及表面声波器件有效
| 申请号： | 201880002632.8 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109477242B | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 岩下修三;井上真司;山路浩之;近藤久雄 | 申请（专利权）人： | 京瓷株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/30 | 分类号： | C30B29/30;C01G35/00;C30B31/06;H01L41/18;H01L41/22;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张毅群 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 以及 表面 声波 器件 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电基板，其特征在于，
是包含含锂的金属化合物晶体的压电基板，所述压电基板在基板内含有钾，且所述基板的厚度方向上的钾的分布的CV值为0.7以下，
所述CV值是指将所述基板的截面用TOF－SIMS进行图像解析而求出的钾检测部的面积率的变异系数即标准偏差σ/平均值。
2.根据权利要求1所述的压电基板，其中，
其电导率为1×10－9S/cm以下且1×10－13S/cm以上。
3.根据权利要求1所述的压电基板，
其包含含锂的金属化合物晶体的单晶。
4.根据权利要求1所述的压电基板，其特征在于，
所述金属化合物为钽酸锂。
5.根据权利要求1所述的压电基板，其特征在于，
所述金属化合物为铌酸锂。
6.一种表面声波器件，其特征在于，
具备权利要求1～5中任一项所述的压电基板、和在该压电基板的表面形成的电极。
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