[发明专利]溅射靶用切削工具、溅射靶的加工方法及溅射靶制品的制造方法

权利要求书

1.溅射靶用切削工具，其是用于将溅射靶的溅射面与侧面形成的角部倒角成R面的溅射靶用切削工具，

其具备轴部、和被设置在所述轴部的前端的刃部，

在沿着所述轴部的轴的截面中，所述刃部具有：沿着所述轴延伸的侧面、与所述轴交叉的前端面、位于所述侧面与所述前端面之间且从后端向前端延伸的主凹曲面、在所述主凹曲面的前端与所述前端面之间连接的第1缺口面、和在所述主凹曲面的后端与所述侧面之间连接的第2缺口面。

2.如权利要求1所述的溅射靶用切削工具，其中，在沿着所述轴部的轴的截面中，第1缺口面具有与所述主凹曲面的前端连接的第1副凸曲面或第1倾斜面，第2缺口面具有与所述主凹曲面的后端连接的第2副凸曲面或第2倾斜面。

3.如权利要求2所述的溅射靶用切削工具，其中，在沿着所述轴部的轴的截面中，所述第1缺口面具有与所述主凹曲面的前端连接的第1副凸曲面，所述第2缺口面具有与所述主凹曲面的后端连接的第2副凸曲面。

4.如权利要求3所述的溅射靶用切削工具，其中，在沿着所述轴的截面中，所述第1缺口面还具有与所述第1副凸曲面的前端连接的第3副凹曲面，所述第2缺口面还具有与所述第2副凸曲面的前端连接的第4副凹曲面。

5.如权利要求1所述的溅射靶用切削工具，其中，在沿着所述轴部的轴的截面中，所述第1缺口面具有与所述主凹曲面的前端连接的第1倾斜面，所述第2缺口面具有与所述主凹曲面的后端连接的第2倾斜面。

6.加工方法，其是将溅射靶的溅射面与侧面形成的角部倒角成R面的加工方法，其中，

一边使权利要求1～5中任一项所述的溅射靶用切削工具围绕所述轴部的轴旋转，一边使所述切削工具的所述刃部的外周面与所述溅射靶的所述角部接触，从而对所述角部进行切削，由此，将所述角部倒角成R面。

7.加工方法，其是将圆板状或圆筒状的溅射靶的溅射面与侧面形成的角部倒角成R面的加工方法，其中，

一边使所述溅射靶旋转，一边使权利要求1～5中任一项所述的溅射靶用切削工具的所述刃部的外周面与所述溅射靶的所述角部接触，从而对所述角部进行切削，由此，将所述角部倒角成R面。

8.溅射靶制品的制造方法，其包括利用权利要求6或7所述的加工方法对溅射靶进行加工的工序。