[发明专利]溅射靶用切削工具、溅射靶的加工方法及溅射靶制品的制造方法

说明书

溅射靶用切削工具，其是用于将溅射靶的溅射面与侧面形成的角部倒角成R面的溅射靶用切削工具，其具备轴部、和被设置在所述轴部的前端的刃部，在沿着所述轴部的轴的截面中，所述刃部具有：沿着所述轴延伸的侧面、与所述轴交叉的前端面、位于所述侧面与所述前端面之间且从后端向前端延伸的主凹曲面、在所述主凹曲面的前端与所述前端面之间连接的第1缺口面、和在所述主凹曲面的后端与所述侧面之间连接的第2缺口面。

技术领域

本发明涉及溅射靶用切削工具、溅射靶的加工方法及溅射靶制品的制造方法。

背景技术

以往，通过机械加工，将溅射靶中的溅射面与侧面形成的角部倒角成R面(参见专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-40471号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本申请发明人发现，对溅射靶的角部进行倒角时，对R面造成损伤。而且，在对基板进行溅射时、即向基板与溅射靶之间施加高电压时，该损伤可能引起异常放电。因此，需要高精度地进行溅射靶的角部的倒角。

本发明提供在将溅射靶的角部倒角成R面时不易产生损伤的溅射靶用切削工具、溅射靶的加工方法及溅射靶制品的制造方法。

用于解决课题的手段

对于本发明的溅射靶用切削工具而言，

其是用于将溅射靶的溅射面与侧面形成的角部倒角成R面的溅射靶用切削工具，

其具备轴部、和被设置在前述轴部的前端的刃部，

在沿着前述轴部的轴的截面中，前述刃部具有：沿着前述轴延伸的侧面、与前述轴交叉的前端面、位于前述侧面与前述前端面之间且从后端向前端延伸的主凹曲面、在前述主凹曲面的前端与前述前端面之间连接的第1缺口面、和在前述主凹曲面的后端与前述侧面之间连接的第2缺口面。

此处所谓“侧面沿轴延伸”，包括侧面与轴平行、或侧面与轴以不正交的方式交叉。

本发明的溅射靶用切削工具中，刃部在沿着轴的截面中具有侧面、前端面、主凹曲面、上述的第1缺口面、和上述的第2缺口面。

作为溅射靶用切削工具的实施方式，可举出下述切削工具，其中，在沿着前述轴部的轴的截面中，前述第1缺口面具有与前述主凹曲面的前端连接的第1副凸曲面或第1倾斜面，前述第2缺口面具有与前述主凹曲面的后端连接的第2副凸曲面或第2倾斜面。

此处，所谓凹曲面及凸曲面，不限于正圆的圆弧面，也包括椭圆的圆弧面。

在溅射靶用切削工具的一个实施方式中，在沿着前述轴部的轴的截面中，前述第1缺口面具有与前述主凹曲面的前端连接的第1副凸曲面，前述第2缺口面具有与前述主凹曲面的后端连接的第2副凸曲面。

通过前述实施方式，将溅射靶的角部用主凹曲面进行切削而倒角成R面时，主凹曲面的两端为第1、第2副凸曲面，因此，能防止对R面造成损伤。

在溅射靶用切削工具的一个实施方式中，在沿着前述轴的截面中，前述第1缺口面还具有与前述第1副凸曲面的前端连接的第3副凹曲面，前述第2缺口面还具有与前述第2副凸曲面的前端连接的第4副凹曲面。

通过前述实施方式，由于第1缺口面还具有与第1副凸曲面的前端连接的第3副凹曲面，第2缺口面还具有与第2副凸曲面的前端连接的第4副凹曲面，因此，能进一步可靠地防止对R面造成损伤，并且，与溅射靶表面形成的角变得平坦，能进一步可靠地防止异常放电。