[发明专利]用于在真空腔室中的载体对准的设备和真空系统以及对准载体的方法

权利要求书

1.一种用于在真空腔室(101)中的载体对准的设备，包括：

第一载体运输系统(120)，所述第一载体运输系统(120)被配置为在第一方向(X)上沿着第一运输路径运输第一载体(10)；和

对准系统(130)，包括：

第一支座(152)，所述第一支座用于将所述第一载体(10)安装到所述对准系统(130)；

对准装置(151)，所述对准装置被配置为使所述第一支座(152)在至少一个对准方向上移动；和

第一移位装置(141)，所述第一移位装置被配置为使所述对准装置(151)与所述第一支座(152)一起在横向于所述第一方向(X)的第二方向(Z)上移动。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一移位装置(141)包括驱动单元(142)和从动部分(143)，其中所述对准装置(151)和所述第一支座(152)设置在所述从动部分(143)处以可与所述从动部分一起移动。

3.根据权利要求2所述的设备，其中所述驱动单元(142)包括线性致动器，所述线性致动器被配置为使所述从动部分(143)在所述第二方向(Z)上移动10mm或更大的距离。

4.根据权利要求2所述的设备，其中所述驱动单元(142)布置在所述真空腔室(101)外，并且所述从动部分(143)从所述真空腔室外延伸到所述真空腔室中。

5.根据权利要求2所述的设备，其中所述从动部分(143)包括中空管元件，所述中空管元件被配置为将缆线馈送到布置在所述真空腔室(101)内的部件。

6.根据权利要求5所述的设备，其中所述缆线被馈送到所述对准装置(151)和所述第一支座(152)中的至少一个。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述对准系统(130)延伸穿过所述真空腔室的壁，并且经由至少一个振动阻尼元件(103)柔性地连接到所述壁。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述振动阻尼元件(103)包括至少一个柔性或弹性密封元件。

9.根据权利要求7所述的设备，其中所述振动阻尼元件(103)包括波纹管元件，所述波纹管元件被配置为减少或防止所述壁的移动传递到所述对准系统。

10.根据权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述对准装置(151)包括至少一个压电致动器。

11.根据权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述对准装置(151)被配置为使所述第一支座(152)在所述第二方向(Z)上移动，并在所述第一方向(X)和横向于所述第一方向和所述第二方向的第三方向(Y)中的至少一个上移动。

12.根据权利要求1至6中任一项所述的设备，其中所述第一支座(152)包括磁性吸盘，所述磁性吸盘被配置为在所述第一支座处磁性地保持所述第一载体。

13.根据权利要求12所述的设备，其中所述磁性吸盘包括电永磁体装置。

14.根据权利要求1至6中任一项所述的设备，所述对准系统(130)进一步包括：

第二支座(153)，所述第二支座用于将第二载体安装到所述对准系统(130)；和

第二移位装置(144)，所述第二移位装置被配置为使所述第二支座(153)在所述第二方向(Z)上移动。

15.根据权利要求14所述的设备，其中所述第二移位装置(144)包括第二驱动单元(145)和第二从动部分(146)，所述第二支座设置在所述真空腔室中的所述从动部分处。