[发明专利]扫描天线和扫描天线的制造方法

说明书

扫描天线(1000)具有：TFT基板(101)，其具有支撑于第1电介质基板(1)的多个TFT、以及多个贴片电极(15)；缝隙基板(201C)，其具有支撑于第2电介质基板(51)的缝隙电极(55)；液晶层，其设置在TFT基板与缝隙基板之间；以及反射导电板(65)，其以隔着电介质层与上述第2电介质基板相对的方式配置。缝隙电极(55)具有与多个贴片电极(15)对应地配置的多个缝隙(57)，贴片电极(15)连接到对应的TFT的漏极，缝隙电极(55)具有Cu层(55MC、55MD)、以及下侧金属层(55LC、55LD)和/或上侧金属层(55UD)，下侧金属层和/或上侧金属层使Cu层具有的拉伸应力减小约一半以上。

技术领域

本发明涉及扫描天线，特别是涉及天线单位(有时也称为“元件天线”。)具有液晶电容的扫描天线(有时也称为“液晶阵列天线”。)及其制造方法。

背景技术

移动体通信或卫星广播用天线需要能改变波束的方向(被称为“波束扫描”或者“波束定向(beam steering)”。)的功能。作为具有这种功能的天线(以下称为“扫描天线(scanned antenna)”。)，已知具备天线单位的相控阵列天线。但是，现有的相控阵列天线的价格高，这成为向消费品普及的障碍。特别是，当天线单位的数量增加时，成本会显著上升。

因此，已提出利用了液晶材料(包括向列液晶、高分子分散液晶)的大的介电各向异性(双折射率)的扫描天线(专利文献1～5和非专利文献1)。液晶材料的介电常数具有频率分散性，因此在本说明书中将微波的频带中的介电常数(有时也称为“相对于微波的介电常数”。)特别标记为“介电常数M(ε_M)”。

在专利文献3和非专利文献1中，记载了通过利用液晶显示装置(以下称为“LCD”。)的技术能得到价格低的扫描天线。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2007-116573号公报

专利文献2：特开2007-295044号公报

专利文献3：特表2009-538565号公报

专利文献4：特表2013-539949号公报

专利文献5：国际公开第2015/126550号

非专利文献

非专利文献1：R.A.Stevenson et al.，“Rethinking Wireless Communications：Advanced Antenna Design using LCD Technology”，SID 2015DIGEST，pp.827-830.

非专利文献2：M.ANDO et al.，“A Radial Line Slot Antenna for 12GHzSatellite TV Reception”，IEEE Transactions of Antennas and Propagation，Vol.AP-33，No.12，pp.1347-1353(1985)。

发明内容

发明要解决的问题

如上所述，虽然已知通过应用LCD技术来实现价格低的扫描天线这样的想法，但是没有具体地记载了利用LCD技术的扫描天线的结构、其制造方法以及其驱动方法的文献。

因此，本发明的目的在于提供能利用现有的LCD的制造技术批量生产的扫描天线及其制造方法。

用于解决问题的方案