[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

压电体；以及

IDT电极，设置在所述压电体上，具有主电极层，

所述IDT电极具有：第一汇流条以及第二汇流条，相互对置；多个第一电极指，一端与所述第一汇流条连接；以及多个第二电极指，一端与所述第二汇流条连接，且与所述多个第一电极指相互交替插入，

具有：交叉区域，是所述多个第一电极指和所述多个第二电极指在弹性波传播方向上相互重叠的部分，

在将所述多个第一电极指延伸的方向或所述多个第二电极指延伸的方向设为长度方向的情况下，所述交叉区域具有：中央区域，位于所述长度方向上的所述第一电极指以及所述第二电极指的中央；第一低声速区域，在所述长度方向上，配置在所述中央区域的所述第一汇流条侧的外侧，且声速与所述中央区域相比为低速；以及第二低声速区域，在所述长度方向上，配置在所述中央区域的所述第二汇流条侧的外侧，且声速与所述中央区域相比为低速，

设置有：第一高声速区域，在所述长度方向上，配置在所述第一低声速区域的所述第一汇流条侧的外侧，且声速与所述中央区域相比为高速；以及第二高声速区域，在所述长度方向上，配置在所述第二低声速区域的所述第二汇流条侧的外侧，且声速与所述中央区域相比为高速，

所述第一低声速区域以及所述第二低声速区域中的占空比大于所述中央区域中的占空比，

在将在作为所述主电极层的主成分的金属中传播的横波体波的声速设为v时，v≤3299m/s，其中，v的单位为m/s，

在将由所述IDT电极的电极指间距规定的波长设为λ，并将通过所述波长λ进行了归一化的所述主电极层的膜厚设为T时，满足下述的式1，

T≥0.00018e^0.002v+0.014…式1。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述IDT电极由包含所述主电极层的多个层构成。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述主电极层将Au、Pt、Ta、Cu、Ni以及Mo中的一种作为主成分。

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述IDT电极中，v≤2895m/s，且满足下述的式2，

T≥0.000029e^0.0032v+0.02…式2。

5.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述IDT电极中，v≤2491m/s，且满足下述的式3，

T≥0.000038e^0.0035v+0.025…式3。

6.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述IDT电极中，v≤2289m/s，且满足下述的式4，

T≥0.000020e^0.0042v+0.03…式4。

7.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

在所述IDT电极中，v≤2087m/s，且满足下述的式5，

T≥0.000017e^0.0048v+0.033…式5。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

所述压电体由LiNbO₃构成，所述压电体的欧拉角为欧拉角(0°±5°，θ，0°±10°)，

所述压电体的所述欧拉角中的θ为θ≥27°，

在将所述主电极层的材料的密度ρ相对于Pt的密度ρ_Pt之比设为r＝ρ/ρ_Pt时，所述欧拉角为(0°±5°，{-0.054/(T×r-0.044)+31.33}°±1.5°，0°±10°)，且T×r≤0.10λ。