[发明专利]弹性波装置、高频前端电路以及通信装置

说明书

本发明提供一种弹性波装置，通过使第一边缘区域以及第二边缘区域中的占空比大于中央区域中的占空比而形成低声速区域，并使用了活塞模式，其中，能够有效地抑制由高阶的横模造成的杂散。弹性波装置(1)具备压电基板(2)(压电体)和设置在压电基板(2)上的IDT电极(3)。在IDT电极(3)中依次配置有中央区域(A1)、第一低声速区域、第二低声速区域以及第一高声速区域、第二高声速区域。多个第一电极指(3a2)、第二电极指(3b2)的第一低声速区域、第二低声速区域中的占空比大于中央区域(A1)中的占空比。在将在作为主电极层的主成分的金属中传播的横波体波的声速设为v(m/s)时，v≤3299m/s，在将由IDT电极(3)的电极指间距规定的波长设为λ，并将通过波长λ进行了归一化的主电极层的膜厚设为T时，满足T≥0.00018e^0.002V+0.014。

技术领域

本发明涉及利用了活塞模式的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。

背景技术

以往，为了抑制无用波，提出了利用了活塞模式的弹性波装置。

例如，在下述的专利文献1示出了利用了活塞模式的弹性波装置的一个例子。在弹性波装置中，IDT电极的多个第一电极指和多个第二电极指在弹性波传播方向上观察时重叠的区域为交叉区域。在专利文献1记载的弹性波装置中，交叉区域具有：在第一电极指、第二电极指延伸的方向上位于中央的中央区域；以及设置在中央区域的第一电极指、第二电极指延伸的方向两侧的第一边缘区域、第二边缘区域。

而且，在下述的专利文献1中，公开了如下的方法，即，在第一边缘区域、第二边缘区域中通过在第一电极指、第二电极指上层叠由电介质或金属构成的质量附加膜而形成低声速区域的方法、通过使第一边缘区域、第二边缘区域中的占空比大于中央区域中的占空比而形成低声速区域的方法。低声速区域的外侧的区域是声速比中央区域中的声速高的高声速区域。通过依次配置中央区域、低声速区域以及高声速区域，从而封闭弹性波的能量，且抑制了由高阶的横模造成的杂散。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特表2013-518455号公报

发明内容

发明要解决的课题

在此，在通过在第一电极指、第二电极指上层叠由电介质或金属构成的质量附加膜而形成低声速区域的方法的情况下，需要曝光以及成膜的工序，因此存在生产成本变高这样的问题。

因此，从生产成本的观点出发，通过使第一边缘区域、第二边缘区域中的占空比大于中央区域中的占空比而形成低声速区域的方法更优选。然而，在该方法的情况下，存在如下的问题，即，根据IDT电极中的主电极层的材料、膜厚，难以将低声速区域与中央区域的声速差增大某种程度以上，因此存在不能抑制杂散的情况。

本发明的目的在于，提供一种能够在通过使第一边缘区域以及第二边缘区域中的占空比大于中央区域中的占空比而形成低声速区域的、使用了活塞模式的弹性波装置中有效地抑制由高阶的横模造成的杂散的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。

用于解决课题的技术方案