[发明专利]用于支撑基板或掩模的载体

权利要求书

1.一种载体组件，用于在真空腔室中将基板或掩模支撑于第一平面中或平行于所述第一平面支撑，所述载体组件包括：

载体；

夹持装置，用于将所述载体固定至对准装置；和

机械运动元件，将所述夹持装置连接至所述载体，所述机械运动元件允许所述夹持装置与所述载体的至少一个自由度的相对移动，并且提供在所述夹持装置与所述载体之间的至少另一自由度的固定连接，

其中所述夹持装置包括第一夹持元件和第二夹持元件，所述第一夹持元件连接至所述载体，所述第二夹持元件连接至所述对准装置，所述第一夹持元件和所述第二夹持元件经配置为相对彼此可固定或可夹持的。

2.如权利要求1所述的载体组件，其中所述机械运动元件包括角度定位装置，所述角度定位装置耦接至所述夹持装置，以使所述载体在围绕正交于所述第一平面的轴线的角方向中移动。

3.如权利要求1所述的载体组件，其中所述机械运动元件包括一个或多个铰合部，每个铰合部的第一部分能够通过第一连接机构连接至所述载体，并且每个铰合部的第二部分能够通过第二连接机构连接至所述夹持装置。

4.如权利要求2所述的载体组件，其中所述机械运动元件包括一个或多个铰合部，每个铰合部的第一部分能够通过第一连接机构连接至所述载体，并且每个铰合部的第二部分能够通过第二连接机构连接至所述夹持装置。

5.如权利要求3所述的载体组件，其中所述机械运动元件经配置以允许所述第二连接机构相对于所述第一连接机构的角运动和允许所述第一连接机构相对于所述第二连接机构的角运动。

6.如权利要求4所述的载体组件，其中所述机械运动元件经配置以允许所述第二连接机构相对于所述第一连接机构的角运动和允许所述第一连接机构相对于所述第二连接机构的角运动。

7.如权利要求3至6中任一项所述的载体组件，其中所述第一连接机构和所述第二连接机构各自包括一个或多个孔洞。

8.如权利要求3至6中任一项所述的载体组件，其中所述一个或多个铰合部中的至少一铰合部在位于所述第一平面中或平行于所述第一平面的线性方向中具有高的刚性，并且每个铰合部在围绕正交于所述第一平面的轴线的角方向中具有低的刚性。

9.如权利要求1至6中任一项所述的载体组件，其中所述载体经配置以将所述基板或所述掩模承载于基本上竖直的位置。

10.如权利要求1至6中任一项所述的载体组件，其中所述对准装置用于将所述载体相对于另外的载体对准。

11.如权利要求1至6中任一项所述的载体组件，其中所述对准装置用于使所述载体在位于所述第一平面中或平行于所述第一平面的第一方向和第二方向中的至少一个方向中移动。

12.一种用于在工艺期间在处理腔室中调整载体的位置的布置，所述布置包括：

保持装置，用于将所述载体支撑于第一平面中或平行于所述第一平面支撑；

对准装置，用于使所述载体至少根据位于所述第一平面中或平行于所述第一平面的线性方向移动；

夹持装置，用于将所述对准装置固定至所述载体；和

机械运动元件，将所述夹持装置连接至所述载体，所述机械运动元件允许所述夹持装置与所述载体的至少一个自由度的相对移动，并且提供所述夹持装置与所述载体之间的至少另一自由度的固定连接，

其中所述夹持装置包括第一夹持元件和第二夹持元件，所述第一夹持元件连接至所述载体，所述第二夹持元件连接至所述对准装置，所述第一夹持元件和所述第二夹持元件经配置为相对彼此可固定或可夹持的。

13.如权利要求12所述的布置，其中所述机械运动元件包括角度定位装置，耦接至所述夹持装置，以使所述载体在围绕正交于所述第一平面的轴线的角方向中移动。