[发明专利]用于支撑基板或掩模的载体

说明书

提供一种用于在真空腔室中将基板或掩模支撑于第一平面中或平行于第一平面支撑的载体。载体包括用于将载体固定至对准装置的夹持装置和将夹持装置连接至载体的机械运动元件，机械运动元件允许夹持装置与载体的至少一个自由度的相对移动，并且提供在夹持装置与载体之间的至少另一自由度的固定连接。

技术领域

本公开内容的实施方式涉及在真空腔室中用于支撑基板或掩模的载体，特别是将所述基板或掩模支撑于第一平面中或平行于第一平面支撑的载体。本公开内容的实施方式进一步涉及一种布置，用于在处理腔室中调整载体的位置或基板载体相对于掩模载体的位置。此外，本公开内容的实施方式涉及用于在基板上沉积层的设备，以及用于在处理期间在处理腔室内调整载体的位置的方法。

背景技术

由于许多原因，使用有机材料(例如有机发光二极管(OLED))的光电装置变得越来越流行。有机发光二极管是一种特殊类型的发光二极管，其中发射层包括确定的有机化合物的薄膜。有机发光二极管(OLED)用于制造电视屏幕、计算机显示器、移动电话、其他手持装置等等，以显示信息。有机发光二极管也可用于一般空间照明。因为有机发光二极管的像素直接发光而不涉及背光，所以有机发光二极管显示器可能的颜色、亮度和视角的范围大于传统的液晶显示器。有机发光二极管显示器的能耗显著地低于传统的液晶显示器。此外，有机发光二极管可制造于柔性基板上的事实，促成了进一步的应用。

可通过在基板上沉积材料来获得有机发光二极管。已知有针对此目的的若干方法。例如，可通过使用蒸镀工艺、物理气相沉积(PVD)工艺(例如溅射工艺、喷涂工艺等等)、或化学气相沉积(CVD)工艺来涂布基板。可在沉积设备的处理腔室内进行所述工艺，待涂布的基板位于所述处理腔室内。将沉积材料提供于处理腔室中。粒子能例如穿过具有边界或特定图案的掩模，以将材料沉积于基板上的期望位置处，例如以在基板上形成有机发光二极管图案。多种材料(例如有机材料、分子、金属、氧化物、氮化物和碳化物)可用于基板上的沉积。此外，可以在处理腔室内进行如蚀刻、结构化、退火(annealing)或类似工艺的其他工艺。

举例来说，例如在显示器制造技术中，对于大面积的基板可考虑涂布工艺。经涂布的基板可用于若干应用和若干技术领域中。例如，应用可为有机发光二极管(OLED)面板。进一步的应用包括绝缘面板、微电子技术(例如半导体装置)、具有薄膜晶体管(TFT)的基板、滤色器或其类似物。有机发光二极管是由(有机)分子薄膜构成的固态装置，在施加电的情况下产生光。举例来说，与例如液晶显示器(LCD)相比，有机发光二极管显示器可在电子装置上提供明亮的显示并使用降低的功率。在处理腔室中，生成(例如蒸发、溅射或喷涂)有机分子，并且将有机分子在基板上沉积为层。材料能例如穿过具有边界或特定图案的掩模以将材料沉积在基板上的期望位置处，例如以在基板上形成有机发光二极管图案。

与经处理的基板(特别是所沉积的层)的质量有关的一方面是基板相对于掩模的对准。例如，对准应该准确并且可重复，以实现良好的处理结果。于是，使用装置(所述装置耦接至基板和/或掩模载体)以将基板相对于掩模对准。当提供基板相对于掩模的准确对准时，特别是在一些特定的方向上，对准装置可能受损。

有鉴于以上情况，需要能在不同方向中提供载体的精细调整移动的载体、布置、设备和方法。

发明内容

根据实施方式提供将基板或掩模在真空腔室中支撑于第一平面中或平行于第一平面支撑的载体。所述载体包括：用于将载体固定至对准装置的夹持(clamping)装置；和将夹持装置连接至载体的机械运动元件，机械运动元件允许夹持装置与载体的至少一个自由度的相对移动，并且提供在夹持装置与载体之间的至少另一自由度的固定连接。