[发明专利]用于对样品进行显微检查的显微镜和方法

权利要求书

1.用于利用显微镜对样品(02)进行显微检查的方法，所述显微镜包括物镜(20)和图像传感器(21)，其中，所述显微镜的图像传感器侧的视场能通过选择所述图像传感器(21)的区段来改变，其中，为了实现显微镜的确定的图像传感器侧的视场，选择和读取图像传感器的确定的区段，所述区段通过图像传感器的处在该区段之内的像素来限定，其中，一些或者所有像素能被分组；其中，所述方法包括以下步骤：

-利用所述显微镜拍摄所述样品(02)的至少一个部分区域的初始图像(01)，为此在所述显微镜上选择图像传感器侧的第一视场，其中，并不读取图像传感器在所选择的第一视场中的所有像素或者像素被分组，从而以第一图像传感器侧的分辨率拍摄初始图像(01)；

-通过分析所述初始图像(01)来获知至少两个有区别的对部分区域成像的图像传感器侧的视场，其中，通过所述对部分区域成像的图像传感器侧的视场中的每个视场对所述初始图像(01)的部分区域成像，其中，所述对部分区域成像的图像传感器侧的视场在其关于图像传感器沿x和/或y方向的位置方面、在其大小和/或分辨率方面有区别，并且其中，通过分析所述初始图像(01)来获知用于拍摄所述显微图像(03)的对比度、用于像差控制的参数和/或用于调节有源光学元件(22、24、42；44)的执行器的参数，并且/或者选择出用于拍摄扩展景深的选装件或者用于拍摄深度信息的选装件；而且

-针对所获知的对部分区域成像的图像传感器侧的视场中的每个视场拍摄所述样品(02)的部分区域的显微图像(03)，其中，分别以比第一图像传感器侧的分辨率更高的图像传感器侧的分辨率拍摄所述显微图像(03)。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过分析所述初始图像(01)来获知所要拍摄的显微图像(03)的分辨率和/或用于拍摄所述显微图像(03)的视体。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一视场大于至少一个对部分区域成像的视场，其中，所述部分区域的显微图像(03)与所述初始图像(01)相比以更精细的分辨率来拍摄。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，拍摄所述初始图像作为所述样品(02)的全景图像(01)。

5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，

-在分析所述初始图像(01)时，分析在所述初始图像(01)中成像的各个部分区域，以便分别确定对各自的部分区域进行显微检查所需的分辨率；并且

-相应于之前确定的各自的所需的分辨率选择出各个对部分区域成像的视场。

6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法包括以下另外的步骤：

-分析所述部分区域的显微图像(03)中的至少一个显微图像，以便确定用于拍摄所述样品(02)的至少多个子部分区域的显微图像的、至少一个对子部分区域成像的视场，其中，所述至少一个对子部分区域成像的视场小于所述对部分区域成像的视场；并且

-分别针对之前确定的对子部分区域成像的视场拍摄所述样品(02)的多个子部分区域的显微图像(03)，其中，所述子部分区域的显微图像(03)与各自的部分区域相比以更精细的分辨率来拍摄。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，拍摄所述初始图像作为所述样品(02)的第一部分区域的显微图像(03)，为此选择所述第一视场作为对部分区域成像的视场。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，从对所述样品(02)的第一部分区域的图像的分析出发来选择用于拍摄所述样品(02)的紧跟所述第一部分区域之后的另外的部分区域的显微图像(03)的、对部分区域成像的视场，其中，分别分析所述另外的部分区域的各个显微图像(03)，以便选择用于拍摄所述样品(02)的分别紧跟其后的另外的部分区域的显微图像(03)的、各个对部分区域成像的视场。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述初始图像和/或所述显微图像中的至少多个显微图像以扩展景深来拍摄。