[发明专利]复合烧结体、静电卡盘部件及静电卡盘装置

权利要求书

1.一种复合烧结体，其为含有作为主相的氧化铝及作为副相的碳化硅的陶瓷复合烧结体，

所述氧化铝的平均晶体粒径为0.8μm以上且1.2μm以下，

所述碳化硅的晶粒分散在所述氧化铝的晶粒内及所述氧化铝的晶粒彼此的晶界中，

分散在所述氧化铝的晶粒内的所述碳化硅的晶粒的个数比例相对于所述碳化硅的晶粒整体的个数为50％以上且60％以下。

2.根据权利要求1所述的复合烧结体，其中，

分散在所述氧化铝的晶粒内的所述碳化硅的晶粒的平均晶体粒径小于分散在所述氧化铝的晶体晶界中的所述碳化硅的晶粒的平均晶体粒径。

3.一种静电卡盘部件，其具备：

基体，将权利要求1所述的复合烧结体作为形成材料，且一个主面为载置板状试样的载置面；及

静电吸附用电极，设置于所述基体的与所述一个主面相反的一侧的主面或所述基体的内部。

4.一种静电卡盘装置，其具备：

权利要求3所述的静电卡盘部件；及

冷却机构，冷却载置于所述载置面的所述板状试样，

所述载置面上设置有支承所述板状试样的多个突起部，

所述冷却机构向所述多个突起部之间供给导热气体。