[发明专利]防反射膜、防反射膜的制造方法、模具及模具的制造方法

说明书

模具(100)的制造方法包含：工序(a)，准备被实施了机械性镜面加工的铝基材(12)；工序(b)，对铝基材的表面喷涂为大致球状、包含氧化铝颗粒、平均粒径是10μm以上且40μm以下的投射材料，从而将多个凹部(12a)形成于铝基材的表面(12s)；工序(c)，在工序(b)之后，在铝基材的表面形成无机材料层(16)，在无机材料层之上形成铝膜(18)，从而制作模具基材(10)；以及在工序(c)之后将铝膜的表面进行阳极氧化的工序和使多孔氧化铝层与蚀刻液接触的工序。

技术领域

本发明涉及防反射膜、防反射膜的制造方法、模具以及模具的制造方法。在此所说的“模具”包含各种加工方法(冲压、浇铸)所使用的模具，有时也称为压模。另外，也可以用于印刷(包括纳米印刷)。

背景技术

为了减少表面反射并提高光的透射量，通常对电视机、便携电话等所使用的显示装置、相机镜头等光学元件实施了防反射技术。其原因是，例如，如光入射到空气与玻璃的界面时那样在光经过折射率不同的介质的界面的情况下，光的透射量会由于菲涅耳反射等而减少，视认性会下降。

近年来，作为防反射技术，在基板表面形成将凹凸的周期控制为可见光的波长(λ＝380nm～780nm)以下的细微的凹凸图案的方法受到关注(参照专利文献1～3)。构成表现出防反射功能的凹凸图案的凸部的二维大小是10nm以上且不到500nm。在此，凸部的“二维大小”是指从表面的法线方向观看时的凸部的面积等效圆直径(与凸部的面积相当的圆的直径)，例如，在凸部是圆锥形的情况下，凸部的二维大小相当于圆锥的底面的直径。凹部的“二维大小”也是同样的。

该方法利用了所谓的蛾眼(Moth-eye、蛾子的眼睛)结构的原理，通过使相对于入射到基板的光的折射率沿着凹凸的深度方向从入射介质的折射率开始连续地变化至基板的折射率为止，从而抑制想要防止反射的波长区域的反射。

蛾眼结构除了具有能在大的波长区域内发挥入射角依赖性小的防反射作用的优点以外，还具有能应用于众多材料、能将凹凸图案直接形成于基板等优点。其结果是，能以低成本提供高性能的防反射膜(或防反射表面)。

作为蛾眼结构的制造方法，使用通过将铝进行阳极氧化而得到的阳极氧化多孔氧化铝层的方法受到关注(专利文献2和3)。

通过使用阳极氧化多孔氧化铝膜，能容易地制造用于在表面形成蛾眼结构的模具(以下称为“蛾眼用模具”。)。特别是，当如专利文献2和3中记载的那样将铝的阳极氧化膜的表面原样用作模具时，降低制造成本的效果大。将能形成蛾眼结构的蛾眼用模具的表面的结构称为“反转的蛾眼结构”。

如专利文献1至5所记载的那样，通过不仅设置蛾眼结构而且设置比蛾眼结构大的凹凸结构，能对防反射膜(或防反射表面)赋予防眩光(Anti Glare；防眩)功能。构成发挥防眩光功能的凹凸结构(有时称为“防眩光结构”。)的凸部或凹部的二维大小例如是200nm以上且不到100μm。另外，将能形成防眩光结构的模具的表面的结构称为“反转的防眩光结构”。为了参照专利文献1至4的全部公开内容，将其引用到本说明书中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特表2001-517319号公报

专利文献2：特表2003-531962号公报

专利文献3：国际公开第2006/059686号

专利文献4：国际公开第2011/052652号

专利文献5：国际公开第2013/099935号

发明内容

发明要解决的问题