[发明专利]溅射靶的加工方法、溅射靶的加工装置、溅射靶及溅射靶制品的制造方法

权利要求书

1.溅射靶的加工方法，其特征在于，所述溅射靶的加工方法是对包含溅射面、所述溅射面的相反侧的相对面、和所述溅射面与所述相对面之间的外周面的溅射靶进行加工的方法，而且所述外周面从侧面侧观察为大致长方形，所述溅射靶的长边方向的长度与短边方向的长度的长宽比为5以上且25以下，所述溅射靶的加工方法具备：

将所述溅射靶的所述溅射面或所述相对面设置于固定台，从而将所述溅射靶固定于所述固定台的工序；及

一边使切削工具沿所述溅射靶的所述外周面的周向旋转，一边利用所述切削工具沿周向对构成所述溅射靶的所述外周面的所有的各个侧面整体依次进行切削，以使得所述溅射靶的构成所述外周面的一部分的长边侧的侧面的垂直方向上的最大变形为0.15mm以下的工序，所述最大变形为将所述侧面的两端连结的直线为基准而该直线与所述侧面之间的最大距离，

所述固定台不妨碍切削工具相对于所述外周面而言的周向的移动。

2.根据权利要求1所述的溅射靶的加工方法，其中，所述固定台通过抽真空来吸附所述溅射靶的所述溅射面或所述相对面，从而固定所述溅射靶。

3.根据权利要求1或2所述的溅射靶的加工方法，其中，所述溅射靶的长边方向的长度与短边方向的长度的长宽比为7以上且18以下。

4.根据权利要求1或2所述的溅射靶的加工方法，其中，所述溅射靶的长边方向的长度为1500mm以上且4000mm以下。

5.溅射靶的加工装置，其特征在于，所述溅射靶的加工装置是对包含溅射面、所述溅射面的相反侧的相对面、和所述溅射面与所述相对面之间的外周面的溅射靶进行加工的装置，而且所述外周面从侧面侧观察为大致长方形，所述溅射靶的长边方向的长度与短边方向的长度的长宽比为5以上且25以下，所述溅射靶的加工装置具备：

固定台，设置所述溅射靶的所述溅射面或所述相对面，从而固定所述溅射靶；

切削工具，切削所述溅射靶；及

控制装置，以一边使所述切削工具沿所述溅射靶的所述外周面的周向旋转，一边利用所述切削工具沿周向对构成所述溅射靶的所述外周面的所有的各个侧面整体依次进行切削的方式，控制所述切削工具，以使得所述溅射靶的构成所述外周面的一部分的长边侧的侧面的垂直方向上的最大变形为0.15mm以下，所述最大变形为将所述侧面的两端连结的直线为基准而该直线与所述侧面之间的最大距离，

所述固定台不妨碍切削工具相对于所述外周面而言的周向的移动。

6.溅射靶，其是包含溅射面、所述溅射面的相反侧的相对面、和所述溅射面与所述相对面之间的外周面的溅射靶，

所述外周面从侧面侧观察为大致长方形，并且构成所述外周面的所有的各个侧面整体为经切削加工的面，

所述溅射靶的长边方向的长度与短边方向的长度的长宽比为5以上且25以下，

所述溅射靶的构成所述外周面的一部分的长边侧的侧面的垂直方向上的最大变形为将所述侧面的两端连结的直线为基准而该直线与所述侧面之间的最大距离，所述最大变形为0.15mm以下。

7.根据权利要求6所述的溅射靶，其中，所述溅射靶的长边侧的侧面的最大变形相对于所述溅射靶的长边方向的长度的比例为0.0075％以下。

8.根据权利要求6或7所述的溅射靶，其中，所述溅射靶的长边方向的长度为1500mm以上且4000mm以下。

9.根据权利要求6或7所述的溅射靶，其中，所述溅射靶的长边方向的长度与短边方向的长度的长宽比为7以上且18以下。

10.溅射靶的制造方法，其中，利用权利要求1或2所述的溅射靶的加工方法加工溅射靶，从而制造溅射靶制品。