[发明专利]溅射靶的加工方法、溅射靶的加工装置、溅射靶及溅射靶制品的制造方法

说明书

本发明提供溅射靶的加工方法，其是对包含溅射面、前述溅射面的相反侧的相对面、和前述溅射面与前述相对面之间的外周面的溅射靶进行加工的方法，所述溅射靶的加工方法具备：将前述溅射靶的前述溅射面或前述相对面设置于固定台，从而将前述溅射靶固定于前述固定台的工序；和，一边使切削工具沿前述溅射靶的前述外周面的周向旋转，一边利用前述切削工具切削前述溅射靶的前述外周面的工序。

技术领域

本发明涉及溅射靶的加工方法、溅射靶的加工装置、溅射靶及溅射靶制品的制造方法。

背景技术

在溅射靶制品的制造中，以往有如下工序：用刀具切削溅射靶的外周面，对于溅射靶的外周面，对构成该外周面的每一边进行加工(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-84682号公报

发明内容

发明所要解决的课题

作为溅射靶制品，要求溅射靶的外周面没有变形的制品。在溅射靶的外周面存在变形的状态下，当对基板与溅射靶之间施加高电压时，有可能会引起异常放电。

本发明提供能够制作变形少的溅射靶的溅射靶的加工方法、溅射靶的加工装置、溅射靶及溅射靶制品的制造方法。

用于解决课题的手段

溅射靶的加工方法是对包含溅射面、前述溅射面的相反侧的相对面、和前述溅射面与前述相对面之间的外周面的溅射靶进行加工的方法，所述溅射靶的加工方法具备：

将前述溅射靶的前述溅射面或前述相对面设置于固定台，从而将前述溅射靶固定于前述固定台的工序；及

一边使切削工具沿前述溅射靶的前述外周面的周向旋转，一边利用前述切削工具切削前述溅射靶的前述外周面的工序。

根据前述溅射靶的加工方法，一边使切削工具沿溅射靶的外周面的周向旋转，一边利用切削工具切削溅射靶的外周面。由此，能够一边释放在溅射靶的外周面产生的热，一边切削溅射靶的外周面。因而，能够减少因加工时产生的热而导致的变形，实现变形少的溅射靶。

在溅射靶的加工方法的一个实施方式中，前述固定台通过抽真空来吸附前述溅射靶的前述溅射面或前述相对面，从而固定前述溅射靶。

根据前述实施方式，固定台通过抽真空来吸附溅射靶的溅射面或相对面，从而固定溅射靶。由此，切削工具在沿溅射靶的外周面的周向移动时，固定台不会阻止切削工具的移动，能够确保切削工具的轨道。

溅射靶的加工装置是对包含溅射面、前述溅射面的相反侧的相对面、和前述溅射面与前述相对面之间的外周面的溅射靶进行加工的装置，所述溅射靶的加工装置具备：

固定台，设置前述溅射靶的前述溅射面或前述相对面，从而固定前述溅射靶；

切削工具，切削前述溅射靶；及

控制装置，以一边使前述切削工具沿前述溅射靶的前述外周面的周向旋转，一边利用前述切削工具切削前述溅射靶的前述外周面的方式，控制前述切削工具。

前述控制装置以一边使切削工具沿溅射靶的外周面的周向旋转，一边利用切削工具切削溅射靶的外周面的方式，控制切削工具。由此，能够一边释放在溅射靶的外周面产生的热，一边切削溅射靶的外周面。因而，能够减少因加工时产生的热而导致的变形，实现变形少的溅射靶。

溅射靶是包含溅射面、前述溅射面的相反侧的相对面、和前述溅射面与前述相对面之间的外周面的溅射靶，

前述外周面从侧面侧观察为大致长方形，

前述溅射靶的长边侧的侧面的最大变形为0.15mm以下。