[发明专利]图案描绘装置、及图案描绘方法

说明书

本发明提供了一种图案描绘方法，是一边通过多边形镜(PM)将根据图案而调变成ON或OFF的描绘射束(LBn)在基板(P)上扫描于主扫描方向，一边使基板(P)移动于副扫描方向以将图案描绘于基板(P)上。图案描绘方法，是测量在描绘射束(LBn)于主扫描方向至少扫描一次的期间加算了光电信号(SS1)的实际积分值(FXn)，该光电信号(SS1)，是从接收射入多边形镜(PM)前的描绘射束(LBn)的光电传感器(SM1d)，与描绘射束(LBn)在ON状态下的强度对应地输出。接着，根据描绘射束(LBn)在ON状态时应设定的适当强度、以及依据排列于主扫描方向的全像素数中的设定为ON状态的像素数的积而预先决定的目标积分值与实际积分值(FXn)的差，调整描绘射束(LBn)在ON状态下的强度。

技术领域

发明，是关于以卷对卷方式或者单片方式于可挠性基板描绘电子元件用的图案等的图案描绘装置、及图案描绘方法。

背景技术

于日本特开2013－148668号公报，揭示有一种光扫描装置(图案描绘装置)，是使来自激光光源(具备多个发光点的面发光激光)的激光在旋转多边形镜的偏向反射面的各个反射并使其射入fθ透镜，而在旋转于副扫描方向的感光体圆筒上一维地扫描。日本特开2013－148668号公报中，为了将就各多边形镜的偏向反射面照射于感光体圆筒上的激光的光量控制于既定值，是通过配置于具备发光元件LD的光源(VCSEL)附近的光检测器(101)，检测来自发光元件LD的射束的光量，将检测出的光量与基准值比较来控制发光元件LD的驱动电流(发光量)。又，日本特开2013－148668号公报中是进行如下控制，即在图像写出前一刻射束照射于SOS传感器的时点，将射束的光量随时设为100％，在图像写出的时点，设定为在其射束扫描(写入线)的写出位置(图像的描绘开始位置)所设定的光量(变更为100％以下、变更为100％以上)所对应的光源(发光元件LD)的电流，以将图像形成于感光体圆筒的图像区域。

然而，在使用了于190nm～400nm程度的紫外波长区存在尖峰频谱的激光光源的图案曝光(描绘、加工)，是使用例如准分子激光光源、即通过脉冲振荡确保了射束强度的脉冲光源。此种以高输出振荡出的紫外波长区的脉冲光源，一般而言虽能在以一定频率连续地脉冲振荡的期间使尖峰强度成为一定的方式控制，但随着振荡频率变高，就每个振荡出的1脉冲光难以正确地控制尖峰强度。是以，在将此种紫外波长区的脉冲光源用于如日本特开2013－148668号公报的多边形镜的图案描绘装置的情形时，从在多边形镜的1个反射面扫描的射束的扫描速度(或者，所描绘的1线量的扫描时间)与在被照射体上的射束的点径的关系来看，必须将振荡频率设定为相当高。进而，在提高多边形镜的射束的扫描速度的情形，由于投射于被照射体的1个脉冲光所形成的点的轨迹会拉伸于主扫描方向而成为椭圆形而曝光，因此设定为脉冲光的发光时间亦极短。因此，难以以廉价的光电传感器正确地测量曝光于被照射体的射束的每1脉冲的光量，适当曝光量的设定或维持变得不正确。

发明内容

本发明的第1态样为一种图案描绘装置，具有以扫描构件使描绘射束扫描于主扫描方向的描绘单元，使前述基板与前述描绘单元相对地移动于副扫描方向以将图案描绘于前述基板上，前述描绘射束根据待描绘于基板上的图案而被ON或OFF调变，该图案描绘装置具备：存储部，在将描绘于前述基板上的前述图案分解成前述主扫描方向与前述副扫描方向的二维像素的排列时，将表示前述描绘射束的ON状态与OFF状态的描绘数据以前述像素的单位加以存储；光电传感器，输出与射入前述扫描构件前的前述描绘射束在ON状态下的强度对应的光电信号；光量测量部，测量加算了前述光电信号的实际积分光量，前述光电信号，是在前述描绘射束于前述主扫描方向至少扫描一次的期间从前述光电传感器输出；以及描绘控制装置，根据以前述描绘射束在ON状态时应设定的目标强度与排列于前述主扫描方向的全像素数中的设定为ON状态的像素数的积而求出的目标积分光量与以前述光量测量部测量的前述实际积分光量的差，调整前述描绘射束在ON状态下的目标强度。