[发明专利]感光性树脂组合物、图案的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、保护膜和电子部件

权利要求书

1.一种感光性树脂组合物，其包含下述(a)成分、(b1)成分和(b2)成分，

(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前驱体；

(b1)下述式(11)所表示的化合物；

(b2)下述式(21)所表示的化合物；

式(1)中，R₁为四价有机基团，R₂为二价有机基团，R₃和R₄分别独立地为氢原子、烷基、环烷基、或具有碳-碳不饱和双键的一价有机基团，

式(11)中，R₁₁为碳原子数1～12的烷基，a为0～5的整数，R₁₂为氢原子或碳原子数1～12的烷基，R₁₃和R₁₄分别独立地表示氢原子、碳原子数1～12的烷基、苯基或甲苯基，

式(21)中，R₂₁为碳原子数1～12的烷基，R₂₂和R₂₃分别独立地为氢原子、碳原子数1～12的烷基、碳原子数1～12的烷氧基、碳原子数4～10的环烷基、苯基或甲苯基，c为0～5的整数。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(b1)成分的含量相对于所述(a)成分100质量份为0.05～5.0质量份，所述(b2)成分的含量相对于所述(a)成分100质量份为0.5～10.0质量份。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(b1)成分的含量相对于所述(a)成分100质量份为0.05～1.0质量份。

4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(b1)成分的含量相对于所述(a)成分100质量份为0.15～0.60质量份。

5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(b2)成分的含量相对于所述(a)成分100质量份为0.5～5.0质量份。

6.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(b1)成分的含量与所述(b2)成分的含量的质量比为1:3～1:30。

7.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其进一步包含(d)交联剂。

8.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其进一步包含(e)敏化剂。

9.一种固化图案的制造方法，其包含：

将权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上并进行干燥而形成涂膜的工序；

对所述涂膜照射活性光线后，进行显影而获得树脂图案的工序；以及

对所述树脂图案进行加热处理的工序。

10.一种固化物，将权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂组合物固化而成。

11.一种层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜，使用权利要求10所述的固化物而制作。

12.一种电子部件，其具有权利要求11所述的层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜。