[发明专利]感光性树脂组合物、图案的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、保护膜和电子部件

说明书

一种感光性树脂组合物，其包含下述(a)成分、(b1)成分和(b2)成分。(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前驱体；(b1)选自由下述式(11)所表示的化合物和下述式(12)所表示的化合物组成的组中的一种以上的化合物；(b2)选自由下述式(21)所表示的化合物和下述式(22)所表示的化合物组成的组中的一种以上的化合物。

技术领域

本发明涉及感光性树脂组合物、固化图案的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜和电子部件。

背景技术

以往，作为半导体集成电路(LSI)的保护膜材料，广泛应用聚酰亚胺树脂等具有高耐热性的有机材料。使用了这样的聚酰亚胺树脂的保护膜(固化膜)通过将聚酰亚胺前驱体或者含有聚酰亚胺前驱体的树脂组合物涂布于基板上并进行干燥而形成树脂膜，对该树脂膜进行加热固化而获得。

随着电子设备的小型化和高功能化，对树脂膜要求高分辨率化。另外，需要能够形成多种多样的图案形状(图案轮廓)的树脂组合物。

为了应对高分辨率化，针对树脂组合物中所含的感光剂也提出了各种方案，有时使用高灵敏度的感光剂(例如专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2015/125469号小册子

发明内容

然而，高灵敏度的感光剂会由于添加量的稍微增减而使图案轮廓大大改变，因此难以控制图案形状。另外，由于其高灵敏度性质，导致最佳的曝光量的范围窄，需要在曝光时进行严格的曝光量调整，因此操作性低。

本发明的目的在于提供一种操作性优异且能够容易地控制图案轮廓的感光性树脂组合物。

本发明人等进行了积极研究，结果发现：通过将特定的标准灵敏度的感光剂与特定的高灵敏度的感光剂组合，能够大大提高感光性树脂组合物的操作性，并且图案轮廓的控制变得容易，从而完成了本发明。

根据本发明，可提供以下的感光性树脂组合物等。

1.一种感光性树脂组合物，其包含下述(a)成分、(b1)成分和(b2)成分。

(a)具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前驱体；

(b1)选自由下述式(11)所表示的化合物和下述式(12)所表示的化合物组成的组中的一种以上的化合物；

(b2)选自由下述式(21)所表示的化合物和下述式(22)所表示的化合物组成的组中的一种以上的化合物；

[化1]

(式(1)中，R₁为四价有机基团，R₂为二价有机基团，R₃和R₄分别独立地为氢原子、烷基、环烷基、或具有碳-碳不饱和双键的一价有机基团。)

[化2]

(式(11)中，R₁₁为碳原子数1～12的烷基，a为0～5的整数。R₁₂为氢原子或碳原子数1～12的烷基。R₁₃和R₁₄分别独立地表示氢原子、碳原子数1～12的烷基、苯基或甲苯基。