[发明专利]基板收纳处理装置、基板收纳处理方法以及记录介质

权利要求书

1.一种基板收纳处理装置，具备：

载置部，其用于配置盒，所述盒用于收纳基板，并且所述盒具有开口部和以相对于该开口部可装卸的方式装设于该开口部的盖；

盖装卸机构，其进行所述盖相对于被配置在所述载置部的所述盒的所述开口部的装卸，并且所述盖装卸机构设置为能够在与被配置在所述开口部的位置的所述盖接触的装设位置和不与被配置在所述开口部的位置的所述盖接触的退避位置之间移动；

盖保持传感器部，其用于探测是否由所述盖装卸机构保持着所述盖；以及

控制部，其基于所述盖保持传感器部的探测结果来判定有无与所述盖的装卸有关的异常，

其中，所述盖保持传感器部具有：异常检测传感器，其探测在所述装设位置与所述退避位置之间的特定的位置处有无物体；以及关闭传感器，其探测所述盖装卸机构的有无，并且所述关闭传感器探测被配置在所述装设位置的所述盖装卸机构，但不探测被配置在所述退避位置的所述盖装卸机构，

所述控制部基于所述异常检测传感器和所述关闭传感器的探测结果来判定所述异常的有无。

2.根据权利要求1所述的基板收纳处理装置，其特征在于，

所述盖装卸机构具有保持部，所述保持部通过吸引来保持所述盖，

所述盖保持传感器部具有吸引压传感器，所述吸引压传感器测量在所述保持部保持所述盖时作用于该盖的吸引压，

所述控制部基于所述吸引压传感器的测量结果来判定所述异常的有无。

3.根据权利要求2所述的基板收纳处理装置，其特征在于，

所述吸引压传感器在所述盖装卸机构被配置在所述装设位置以外的位置的状态下测量所述吸引压，

所述控制部基于根据所述吸引压传感器的测量结果导出的所述盖装卸机构是否保持着所述盖的估计来判定所述异常的有无。

4.根据权利要求1所述的基板收纳处理装置，其特征在于，

所述控制部在所述盖装卸机构从所述退避位置朝向所述装设位置移动时，基于所述异常检测传感器在所述特定的位置探测到物体的定时与所述关闭传感器探测到所述盖装卸机构的定时的时间差来判定所述异常的有无。

5.根据权利要求1所述的基板收纳处理装置，其特征在于，

所述控制部在所述盖装卸机构从所述装设位置朝向所述退避位置移动时，基于所述关闭传感器探测不到所述盖装卸机构的定时与所述异常检测传感器在所述特定的位置探测不到物体的定时的时间差来判定所述异常的有无。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的基板收纳处理装置，其特征在于，

所述盖保持传感器部具有盖探测传感器，所述盖探测传感器探测由被配置在所述退避位置的所述盖装卸机构所保持的所述盖，

所述控制部基于所述盖探测传感器的探测结果来判定所述异常的有无。

7.一种基板收纳处理装置，具备：

载置部，其用于配置盒，所述盒用于收纳基板，并且所述盒具有开口部和以相对于该开口部可装卸的方式装设于该开口部的盖；

盖装卸机构，其进行所述盖相对于被配置在所述载置部的所述盒的所述开口部的装卸，并且所述盖装卸机构设置为能够在与被配置在所述开口部的位置的所述盖接触的装设位置和不与被配置在所述开口部的位置的所述盖接触的退避位置之间移动；

盖保持传感器部，其用于探测是否由所述盖装卸机构保持着所述盖；以及

控制部，其基于所述盖保持传感器部的探测结果来判定有无与所述盖的装卸有关的异常，

其中，所述盖保持传感器部具有重量传感器，所述重量传感器测量被配置在所述载置部的所述盒的重量，

所述控制部基于所述重量传感器的测量结果来判定所述异常的有无。

8.根据权利要求7所述的基板收纳处理装置，其特征在于，

所述盖保持传感器部具有盖探测传感器，所述盖探测传感器探测由被配置在所述退避位置的所述盖装卸机构所保持的所述盖，

所述控制部基于所述盖探测传感器的探测结果来判定所述异常的有无。