[发明专利]物理量传感器有效
| 申请号： | 201880013835.7 | 申请日： | 2018-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN110352339B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 早川裕;与仓久则 | 申请（专利权）人： | 株式会社电装 |
| 主分类号： | G01L9/00 | 分类号： | G01L9/00;G01P15/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 高迪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 | ||
1.一种物理量传感器，通过将具有薄膜部(12)的第一基板(10)与第二基板(20)粘合而构成，
该物理量传感器具备：
所述第一基板，具有一表面(10a)及所述一表面相反侧的另一表面(10b)，在所述另一表面侧形成有凹部(11)从而在所述一表面侧形成所述薄膜部；以及
第二基板(20)，具有与所述第一基板的一表面接合的一表面(20a)，在该一表面(20a)之中的与所述凹部对置的部分形成有凹陷部(20c)，
对于所述凹部及所述凹陷部而言，将所述凹部中的底面的端部投影到所述第一基板的一表面而得到的投影线(T)为包围所述凹陷部的开口端的大小，
在所述薄膜部之中的所述第一基板的另一表面侧的表面中，将与穿过所述凹陷部的开口端且沿着相对于所述第一基板的一表面的法线方向的延长线(K)交叉的位置设为特定位置(D1)，
则所述薄膜部向所述凹陷部侧位移时，在所述薄膜部中所述特定位置处产生最大的拉伸应力。
2.如权利要求1所述的物理量传感器，
所述薄膜部向所述凹陷部侧位移时，将所述特定位置设为第一位置、将所述凹部的底面中的端部设为第二位置(D2)的情况下，在所述薄膜部中所述第一位置处产生比所述第二位置处大的拉伸应力。
3.一种物理量传感器，通过将具有薄膜部(12)的第一基板(10)与第二基板(20)粘合而构成，
该物理量传感器具备：
所述第一基板，具有一表面(10a)及所述一表面相反侧的另一表面(10b)，在所述另一表面侧形成有凹部(11)从而在所述一表面侧形成所述薄膜部；以及
第二基板(20)，具有与所述第一基板的一表面接合的一表面(20a)，在该一表面(20a)之中的与所述凹部对置的部分形成有凹陷部(20c)，
对于所述凹部及所述凹陷部而言，将所述凹部中的底面的端部投影到所述第一基板的一表面而得到的投影线(T)为包围所述凹陷部的开口端的大小，
在所述薄膜部之中的所述第一基板的另一表面侧的一表面中，将与穿过所述凹陷部的开口端且沿着相对于所述第一基板的一表面的法线方向的延长线(K)交叉的位置设为第一位置(D1)，将所述凹部中的底面的端部设为第二位置(D2)，将所述第一位置与所述第二位置之间的距离之中的最短的距离设为L(μm)，将所述薄膜部的厚度设为d(μm)，则L＞1.28×d+0.53。
4.如权利要求1～3中任一项所述的物理量传感器，
所述凹部中的底面的端部为圆形状，
所述凹陷部的开口端为圆形状。
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