[发明专利]用于极紫外光源的EUV清洁系统及其方法

权利要求书

1.一种用于从氢气生成氢自由基以用于清洁设置在EUV生成腔室内的元件的装置，包括：

第一毛细管，被设置在所述EUV生成腔室内，所述第一毛细管具有第一毛细管第一端和第一毛细管第二端，所述第一毛细管至少具有第一毛细管内表面，所述第一毛细管内表面由催化材料形成，所述催化材料被配置为经由热诱导催化反应从所述氢气生成所述氢自由基；

歧管，所述第一毛细管第一端与所述歧管耦合以促进所述歧管与所述第一毛细管第一端之间的气体传输连通；

第一电端子，用于向所述第一毛细管第一端和所述歧管中的至少一者提供第一电压；

第二电端子，用于向所述第一毛细管第二端提供第二电压，从而被配置用于在所述第一电压和所述第二电压被提供时电阻加热所述第一毛细管，以促进所述第一毛细管中的所述热诱导催化反应。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一毛细管是具有由与所述催化材料不同的材料形成的外层的复合结构。

3.根据权利要求2所述的装置，其中与所述催化材料不同的所述材料是至少包括镍和铬的合金。

4.根据权利要求3所述的装置，其中所述催化材料由至少包括钨的材料形成。

5.根据权利要求2所述的装置，其中所述催化材料由至少包括钨的材料形成。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一毛细管是具有由与所述催化材料不同的材料形成的外层的复合结构。

7.根据权利要求1所述的装置，还包括：第二毛细管，具有第二毛细管第一端和第二毛细管第二端，所述第二毛细管至少具有第二毛细管内表面，所述第二毛细管内表面由所述催化材料形成，所述第二毛细管第一端与所述歧管耦合以促进所述歧管与所述第二毛细管第一端之间的气体传输连通；第三电端子，用于向所述第二毛细管第二端提供所述第二电压，从而被配置用于在所述第一电压和所述第二电压被提供时电阻加热所述第二毛细管，以促进所述第二毛细管中的所述热诱导催化反应。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一毛细管是双壁结构，所述双壁结构包括第一气体传输通道，所述第一气体传输通道被设置在第二气体传输通道内，使得间隙区域被设置在所述第一气体传输通道的外表面与所述第二气体传输通道的内表面之间。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一气体传输通道被配置为以第一压力接收所述氢气，所述第二传输通道被配置为以与所述第一压力不同的第二压力接收所述氢气。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述第一气体传输通道被配置为接收第一气体，所述第一气体至少包括所述氢气，所述第二传输通道被配置为接收所述氢气、至少包括所述氢气和至少一种其他气体的第二气体。

11.根据权利要求10所述的装置，其中所述第一气体传输通道被配置为以第一压力接收所述第一气体，所述第二传输通道被配置为以与所述第一压力不同的第二压力接收所述第二气体。

12.根据权利要求1所述的装置，还包括用于生成所述氢自由基的多个其他毛细管，所述多个所述其他毛细管中的每个其他毛细管具有耦合到所述歧管的至少一个端部，所述多个其他毛细管在空间上分组以形成多个组，所述多个组中的各个组沿着所述歧管以非均匀方式在空间上分布。

13.根据权利要求1所述的装置，其中第一毛细管没有暴露的细丝。