[发明专利]用于极紫外光源的EUV清洁系统及其方法

说明书

公开了用于原位内联清洁设置在EUV生成腔室中的元件的方法和装置。基于毛细管的氢自由基发生器被用于从氢气形成氢自由基。基于毛细管的氢自由基发生器在操作期间被电阻加热，并且被定向成使得从氢气催化生成的氢自由基被引导到元件的表面以用于清洁表面。

相关申请的交叉引用

本申请涉及于2017年3月8日提交的美国申请号15/453,884，其全部内容通过引用并入本文。

背景技术

极紫外(“EUV”)光(例如，波长为约50nm或更小的电磁辐射(有时也称为软x射线)，并且包括波长为约13nm的光)可以用于光刻工艺以在衬底(例如硅晶片)中产生极小的特征。

产生EUV光的方法包括但不必限于将具有元素(例如，氙、锂或锡)的材料转换为等离子体状态的EUV范围内的发射线。在通常称为激光产生等离子体(“LPP”)的一种这样的方法中，所需要的等离子体可以利用放大光束(可以被称为驱动激光)通过照射目标材料(例如，以材料的液滴、板、带、流或簇的形式)来产生。对于该过程，等离子体通常在密封容器(例如，真空腔室)中产生，并且使用各种类型的量测装置进行监测。

发明内容

在一个或多个实施例中，本发明涉及使用从氢气生成的氢自由基原位内联(inline)清洁EUV腔室部件。氢自由基使用一种或多种基于毛细管的氢自由基发生器生成。基于毛细管的氢自由基发生器中的每个毛细管具有由催化材料形成的毛细管内表面。催化材料被配置为在催化材料被加热到指定温度范围时，经由热诱导催化反应生成用于清洁EUV腔室部件的氢自由基。

在一个实施例中，提供了一种用于从氢气生成氢自由基以用于清洁EUV生成腔室中的元件的表面的的装置。该装置包括具有第一毛细管第一端和第一毛细管第二端的第一毛细管，第一毛细管至少具有由催化材料形成的第一毛细管内表面，该催化材料被配置为经由热诱导催化反应从氢气生成氢自由基。该装置还包括歧管，第一毛细管第一端与歧管耦合以促进歧管与第一毛细管第一端之间的气体传输连通。该装置还包括用于向第一毛细管第一端和歧管中的至少一者提供第一电压的第一电端子。该装置还包括第二电端子，第二电端子用于向第一毛细管第二端提供第二电压，从而在第一电压和第二电压被提供时电阻加热第一毛细管，以促进第一毛细管中的热诱导催化反应。

在一个或多个实施例中，基于毛细管的氢自由基发生器由催化材料形成为单件结构。在一个或多个实施例中，基于毛细管的氢自由基发生器是复合结构。在一个或多个实施例中，基于毛细管的氢自由基发生器包括多个气体传输通道。在一个或多个实施例中，多个基于毛细管的氢自由基发生器并联电耦合。

在一个或多个实施例中，基于毛细管的氢自由基发生器被布置为使得相邻的氢自由基发生器围绕EUV腔室部件的周边均匀地间隔开。在一个或多个实施例中，基于毛细管的氢自由基发生器被一起分组成组以改进氢自由基向EUV腔室部件的不同区域的传输。

在本发明的一个或多个实施例中，公开了用于使用由基于毛细管的氢自由基发生器生成的氢自由基原位并且以内联的方式清洁EUV部件的方法。

附图说明

通过示例而非限制的方式在附图的图中示出了本发明，并且附图中相同的附图标记指代相似的元件，并且在附图中：

图1是示例性的激光产生等离子体极紫外(EUV)光源的框图。

图2A示出了用于生成氢自由基以清洁收集器反射镜的示例性的基于细丝的方法。

图2B示出了用于基于细丝的氢自由基发生器的并联连接布线方法。

图2C示出了用于基于细丝的氢自由基发生器的串联连接布线方法。

图3示出了根据本发明的一个或多个实施例的用于原位生成氢自由基以用于内联清洁EUV生成腔室中的元件(诸如收集器反射镜表面)的基于毛细管的氢自由基发生器。