[发明专利]蓄电设备和固体电解质层的制造方法

说明书

蓄电设备(30)具备：第1导电型的第1氧化物半导体层(14)；固体电解质层(18K)，其配置于第1氧化物半导体层(14)上、且包含质子能移动的固体电解质；绝缘物层(18N)，其配置于固体电解质层(18K)与第1氧化物半导体层(14)之间、且具备绝缘物；和，第2导电型的第2氧化物半导体层(24)，其配置于固体电解质层(18K)上。提供：即使增大蓄电容量、且增加充电电压也不劣化而能进行充电的可靠性得到改善的蓄电设备。

技术领域

本实施方式涉及蓄电设备和固体电解质层的制造方法。

背景技术

作为从两侧以电极夹持绝缘层的结构，通常为电容器。

另外，还提出了如下结构的蓄电设备：依次层叠有n型半导体层、含水性多孔的绝缘层、p型半导体层，且在上下形成有电极。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2015-82445号公报

发明内容

发明要解决的问题

本实施方式提供：即使增大蓄电容量、且增加充电电压也不劣化而能进行充电的可靠性得到改善的蓄电设备和固体电解质层的制造方法。

用于解决问题的方案

根据本实施方式的一方案，提供一种蓄电设备，其具备：第1导电型的第1氧化物半导体层；固体电解质层，其配置于前述第1氧化物半导体层上、且包含质子能移动的固体电解质；和，第2导电型的第2氧化物半导体层，其配置于前述固体电解质层上。

根据本实施方式的另一方案，提供一种固体电解质层的制造方法，通过包括如下工序而制造：将经稀释的硅油进行涂布的工序；将经涂布的硅油进行焙烧的工序；和，对经焙烧的硅油进行紫外线照射的工序。

发明的效果

根据本实施方式，可以提供：即使增大蓄电容量、且增加充电电压也不劣化而能进行充电的可靠性得到改善的蓄电设备和固体电解质层的制造方法。

附图说明

图1的(a)为比较例1的蓄电设备的示意性截面结构图，图1的(b)为比较例1的蓄电设备的充放电特性图。

图2的(a)为比较例2的蓄电设备的示意性截面结构图，图2的(b)为比较例2的蓄电设备的充放电特性图。

图3的(a)为实施方式的蓄电设备的示意性截面结构图，图3的(b)为实施方式的蓄电设备的充放电特性图。

具体实施方式

接着，参照附图，对本实施方式进行说明。以下中说明的附图的记载中，对相同或类似的部分标注相同或类似的符号。但是，附图为示意性的，应注意的是，各构成部件的厚度与平面尺寸的关系等与现实的情况不同。因此，具体的厚度、尺寸应参照以下的说明进行判断。另外，当然包含附图的相互间彼此的尺寸的关系、比率不同的部分。

另外，以下所示的实施方式示例了用于使技术构思具体化的装置、方法，不特定各构成部件的材质、形状、结构、配置等。该实施方式可以在权利要求的范围内加以各种变更。

以下的实施方式的说明中，第1导电型例如是指n型，第2导电型是指与第1导电型相反导电型的p型。

(比较例1)

比较例1的蓄电设备30A的示意性截面结构如图1的(a)所示那样表示，其充放电特性如图1的(b)所示那样示意性表示。