[发明专利]引线键合方法以及引线键合装置

权利要求书

1.一种引线键合方法，通过使毛细管以及插通于所述毛细管的引线与载置于XY载台的引脚加压接触而使所述引线接合于所述引脚，

所述引线键合方法的特征在于，

在使所述毛细管与所述引脚加压接触的状态下使所述XY载台移动，使所述毛细管沿着包含多个圆弧部分的移动轨迹移动。

2.根据权利要求1所述的引线键合方法，其特征在于，

所述毛细管沿着没有交叉的部分的移动轨迹移动。

3.根据权利要求1或2所述的引线键合方法，其特征在于，

所述多个圆弧部分的长度被设定为越是位于所述移动轨迹的终点侧的圆弧部分则越长。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的引线键合方法，其特征在于，

所述多个圆弧部分被配置为相邻的圆弧部分中的位于所述移动轨迹的终点侧的圆弧部分的始端和位于所述移动轨迹的起点侧的圆弧部分的终端接近，

在所述移动轨迹中包含将所述终点侧的圆弧部分的始端和所述起点侧的圆弧部分的终端相连的连接部分，

所述移动轨迹具有由所述多个圆弧部分和将各圆弧部分相连的连接部分形成的曲折形状。

5.一种引线键合装置，其特征在于，具备：

载置引脚的XY载台；

使所述XY载台沿着X方向移动的机构；

使所述XY载台沿着Y方向移动的机构；

被插通引线的毛细管；

使所述毛细管与所述引脚加压接触的机构；

向所述毛细管施加超声波振动的机构；和

对使得沿着所述X方向移动的机构、使得沿着所述Y方向移动的机构、使所述毛细管与所述引脚加压接触的机构、以及施加所述超声波振动的机构进行控制的控制部，

所述控制部在使所述毛细管以及插通于所述毛细管的所述引线与载置于所述XY载台的引脚加压接触的状态下，使所述XY载台移动，对使得沿着所述X方向移动的机构以及使得沿着所述Y方向移动的机构进行控制，使得所述毛细管沿着包含多个圆弧部分的移动轨迹移动。

6.根据权利要求5所述的引线键合装置，其特征在于，

所述控制部在使所述毛细管以及所述引线与所述引脚加压接触的状态下，对使得沿着所述X方向移动的机构以及使得沿着所述Y方向移动的机构进行控制，使得所述毛细管曲折移动。