[发明专利]引线键合方法以及引线键合装置

说明书

本发明提供一种能够抑制引线断裂的产生的引线键合方法。本发明的一个方式的引线键合方法通过使毛细管以及插通于所述毛细管的引线(1)与载置于XY载台的引脚的第2键合点(16)加压接触而使所述引线接合于所述引脚，在使所述毛细管与所述引脚加压接触的状态下使所述XY载台移动，使所述毛细管沿着包含多个圆弧部分的移动轨迹移动。

技术领域

本发明涉及引线键合方法以及引线键合装置。

背景技术

在专利文献1中记载了以下的现有技术。

准备键合装置，该键合装置包含：载置有设置有引脚面的键合对象的键合载台；被插通键合引线的毛细管；载置于键合载台的键合对象的引脚面，使毛细管以及插通于该毛细管的键合引线加压接触的加压接触单元；在使毛细管与引脚面加压接触时，在与毛细管的加压方向正交的方向上使毛细管以漩涡状旋转的擦拭(scrub)单元；和控制部。

接下来，利用基于键合装置的控制部的指令的加压接触单元，使在载置于键合载台的键合对象的引脚面加压接触插通有键合引线的毛细管以及插通于该毛细管的键合引线。

接下来，通过基于键合装置的控制部的指令(图9的(B)所示的X轴指令位置x以及Y轴指令位置y)的擦拭单元，在毛细管与引脚面加压接触时，使得毛细管在与毛细管的加压方向正交的方向上以漩涡状旋转。该漩涡状旋转是指，将毛细管与引脚面接触的位置作为基准位置，一边从该基准位置起扩大直径一边使毛细管以漩涡状旋转之后，一边缩小直径一边使毛细管以漩涡状旋转，而返回基准位置(参考图9的(A))。

在此，对擦拭动作进行说明。图9的(A)是表示进行擦拭动作的毛细管的移动轨迹的图，图9的(B)是表示用于使X轴直线电动机以及Y轴直线电动机驱动的指令位置的图。另外，X轴直线电动机以及Y轴直线电动机是用于使键合头移动的单元。

如图9的(A)所示，擦拭动作通过使X轴直线电动机以及Y轴直线电动机驱动来使保持于键合头的毛细管以漩涡状旋转，从而使毛细管相对于引脚面以漩涡状旋转。具体而言，将毛细管与引脚面接触时的位置作为基准位置(0、0)，一边使该旋转半径从该基准位置起扩大，一边使毛细管以漩涡状旋转，当该旋转半径成为最大时，一边使旋转半径缩小一边使毛细管以漩涡状旋转，使毛细管返回到基准位置。

在上述的现有技术中，一边从基准位置起扩大直径一边使毛细管以漩涡状旋转后，一边缩小直径一边使毛细管以漩涡状旋转，因此，至少两处的毛细管通过相同的位置。其结果是，容易引起引线断裂，存在生产率降低的担心。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP专利第4595018号公报

发明内容

发明要解决的课题

本发明的一个方式的课题在于提供一种能够抑制引线断裂的产生的引线键合方法或引线键合装置。

用于解决课题的手段

以下，对本发明的各种方式进行说明。

[1]一种引线键合方法，通过使毛细管以及插通于所述毛细管的引线与载置于XY载台的引脚加压接触，从而使所述引线接合于所述引脚，其特征在于，

在使所述毛细管与所述引脚加压接触的状态下使所述XY载台移动，使所述毛细管沿着包含多个圆弧部分的移动轨迹移动。

[2]根据上述[1]中的引线键合方法，其特征在于，

所述毛细管沿着没有交叉部分的移动轨迹移动。

[3]根据上述[1]或[2]中的引线键合方法，其特征在于，

所述多个圆弧部分的长度被设定为越是位于所述移动轨迹的终点侧的圆弧部分则越长。