[发明专利]有机电致发光元件用电极、有机电致发光元件、有机电致发光显示装置和有机电致发光元件用电极的制造方法

权利要求书

1.一种有机电致发光元件用电极，其特征在于，包含：

以金属或合金为主要成分的导电层、

设置在该导电层上的可见光区域的反射率为40％以下的黑化层、和

设置在该黑化层上且具有规定的功函数的由透明导电氧化物构成的功函数调整层，

所述导电层是以选自包含Al、Cu、Ag、Mo、Cr的组中的一种以上的金属为主要成分的金属或合金，

所述黑化层是以Mo或Zn为主要成分的低级氧化物、低级氮化物或低级氧氮化物的物理蒸镀膜，

所述功函数调整层由以In₂O₃或ZnO为基体的透明导电氧化物构成，

所述有机电致发光元件用电极的可见光区域的反射率为10％以下，

薄层电阻为1Ω/sq以下。

2.根据权利要求1所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述有机电致发光元件用电极由3层构成，所述3层包括所述导电层、所述黑化层和所述功函数调整层。

3.根据权利要求1所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，其能够通过使用了作为磷酸、硝酸、乙酸混合液的磷硝乙酸系蚀刻液的湿式蚀刻来一并蚀刻。

4.根据权利要求1所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述黑化层由以Mo为主要成分的低级氧化物、低级氮化物或低级氧氮化物构成。

5.根据权利要求1所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述功函数调整层由以In₂O₃为基体的透明导电氧化物构成。

6.根据权利要求1所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述功函数调整层由在In₂O₃中添加有选自包含Ga、Ce、Zn、Sn、Si、W、Ti的组中的一种以上的透明导电氧化物构成。

7.根据权利要求1所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述功函数调整层由在ZnO中添加有选自包含Al或Ga的组中的一种以上的透明导电氧化物构成。

8.根据权利要求1所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述功函数调整层的功函数为4.6eV以下，所述有机电致发光元件用电极作为有机电致发光元件的阴极使用。

9.根据权利要求1所述的有机电致发光元件用电极，其特征在于，所述功函数调整层的功函数为4.7eV以上，所述有机电致发光元件用电极作为有机电致发光元件的阳极使用。

10.一种有机电致发光元件，其具备权利要求1至9中任一项所述的有机电致发光元件用电极。

11.一种有机电致发光显示装置，其具备权利要求10所述的有机电致发光元件，且不具备偏振板。

12.一种有机电致发光元件用电极的制造方法，其特征在于，其进行下述工序：

导电层层叠工序，在基材上层叠以选自包含Al、Cu、Ag、Mo、Cr的组中的一种以上的金属为主要成分的导电层；

黑化层层叠工序，在所述导电层上通过物理蒸镀法来层叠由以Mo或Zn为主要成分的低级氧化物、低级氮化物或低级氧氮化物构成、且可见光区域的反射率为40％以下的黑化层；

功函数调整层层叠工序，在所述黑化层上层叠由以In₂O₃或ZnO为基体的透明导电氧化物构成、且具有规定的功函数的功函数调整层；以及

蚀刻工序，通过使用了作为磷酸、硝酸、乙酸混合液的磷硝乙酸系蚀刻液的湿式蚀刻来一并蚀刻已层叠的所述导电层、所述黑化层和所述功函数调整层。

13.一种电子设备用电极，其特征在于，其包含：

以金属或合金为主要成分的导电层、

设置在该导电层上的可见光区域的反射率为40％以下的黑化层、和

设置在该黑化层上且具有规定的功函数的由透明导电氧化物构成的功函数调整层，

所述导电层是以选自包含Al、Cu、Ag、Mo、Cr的组中的一种以上的金属为主要成分的金属或合金，

所述黑化层是以Mo或Zn为主要成分的低级氧化物、低级氮化物或低级氧氮化物的物理蒸镀膜，

所述功函数调整层由以In₂O₃或ZnO为基体的透明导电氧化物构成，

所述电子设备用电极的可见光区域的反射率为10％以下，

薄层电阻为1Ω/sq以下。