[发明专利]用于树脂组合物的蚀刻液和蚀刻方法在审
| 申请号： | 201880021886.4 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN110461920A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 丰田裕二;田边昌大 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | C08J7/02 | 分类号： | C08J7/02;H05K3/06;H05K3/28 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 马倩;梅黎<国际申请>=PCT/JP20 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻液 树脂组合物 碱不溶性树脂 无机填充剂 去除 蚀刻 树脂组合物层 碱金属氢氧化物 乙醇胺化合物 优选 发热 加工 | ||
1.蚀刻液，其特征在于，在用于包含碱不溶性树脂和50~80质量%的无机填充剂的树脂组合物的蚀刻液中，该蚀刻液含有15~45质量%的碱金属氢氧化物。
2.根据权利要求1所述的用于树脂组合物的蚀刻液，其特征在于，碱金属氢氧化物是选自氢氧化钾、氢氧化钠、和氢氧化锂中的至少1种化合物。
3.根据权利要求1或2所述的用于树脂组合物的蚀刻液，其特征在于，无机填充材料是选自二氧化硅、玻璃、粘土、和氢氧化铝中的至少1种。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的蚀刻液，其特征在于，前述蚀刻液含有5~40质量%的乙醇胺化合物。
5.根据权利要求4所述的蚀刻液，其特征在于，乙醇胺化合物是选自乙醇胺、N-(β-氨基乙基)乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和N-乙基二乙醇胺中的至少1种化合物。
6.根据权利要求4所述的用于树脂组合物的蚀刻液，其特征在于，乙醇胺化合物是选自乙醇胺、N-(β-氨基乙基)乙醇胺、N-甲基乙醇胺、N-乙基乙醇胺、N-甲基二乙醇胺和N-乙基二乙醇胺中的至少2种化合物。
7.根据权利要求6所述的用于树脂组合物的蚀刻液，其中，作为乙醇胺化合物，至少含有N-(β-氨基乙基)乙醇胺。
8.蚀刻方法，其特征在于，在包含碱不溶性树脂和50~80质量%的无机填充剂的树脂组合物层的蚀刻方法中，包括通过权利要求1~7中任一项所述的蚀刻液而去除该树脂组合物层的步骤。
9.蚀刻方法，其特征在于，包含碱不溶性树脂和50~80质量%的无机填充剂的树脂组合物层的蚀刻方法中，按顺序包括：
(A)通过权利要求4~7中任一项所述的蚀刻液而去除该树脂组合物层中的一部分的步骤；
(B)通过包含碱金属氢氧化物和乙醇胺化合物、且其含量与各自前述蚀刻液中的碱金属氢氧化物和乙醇胺化合物的含量相比少的水洗去除液而完全去除剩余的树脂组合物层的步骤。
10.根据权利要求8或9所述的蚀刻方法，其中，去除树脂组合物层的步骤是浸渍处理。
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