[发明专利]管状蓝宝石构件、热交换器、半导体制造装置及管状蓝宝石构件的制造方法

权利要求书

1.一种管状蓝宝石构件，其中，

所述管状蓝宝石构件是由蓝宝石构成的管状体，

所述管状蓝宝石构件具备：

外壁，其沿轴向延伸；

多个贯通孔，它们沿所述轴向延伸；以及

一个以上的隔壁，其划分多个所述贯通孔并沿所述轴向延伸，

所述轴向与蓝宝石的c轴平行，

至少一个的所述隔壁在沿所述轴向观察的正面观察下，从中心轴朝向所述外壁延伸而与所述外壁连接，所述隔壁的延伸方向与蓝宝石的a轴及m轴中的任一轴平行。

2.根据权利要求1所述的管状蓝宝石构件，其中，

一个所述贯通孔配置于与所述中心轴重叠的位置，

在沿所述轴向观察的正面观察下，所述管状蓝宝石构件具备围绕外壁，该围绕外壁包围配置于与所述中心轴重叠的位置的所述贯通孔。

3.根据权利要求1或2所述的管状蓝宝石构件，其中，

在沿所述轴向观察的正面观察下，所述贯通孔为非圆形。

4.根据权利要求1或2所述的管状蓝宝石构件，其中，

在沿所述轴向观察的正面观察下，多个所述贯通孔沿着所述外壁的外周呈环状配置。

5.根据权利要求4所述的管状蓝宝石构件，其中，

在沿所述轴向观察的正面观察下，所述管状蓝宝石构件具备均具有相同形状且呈环状配置的多个所述贯通孔。

6.一种热交换器，其中，

所述热交换器具备权利要求1至5中任一项所述的管状蓝宝石构件来作为流路构件。

7.一种半导体制造装置，其中，

所述半导体制造装置具备权利要求6所述的热交换器。

8.一种管状蓝宝石构件的制造方法，所述管状蓝宝石构件是由蓝宝石构成的管状体，

所述管状蓝宝石构件具备：

外壁，其沿轴向延伸；

多个贯通孔，它们沿所述轴向延伸；以及

一个以上的隔壁，其划分多个所述贯通孔并沿所述轴向延伸，

所述轴向与蓝宝石的c轴平行，

至少一个的所述隔壁在沿所述轴向观察的正面观察下，从中心轴朝向所述外壁延伸而与所述外壁连接，所述延伸方向与蓝宝石的a轴及m轴中的任一轴平行，

其中，

所述管状蓝宝石构件的制造方法包括以下工序：

准备模具，该模具在与所述管状蓝宝石构件的所述外壁及所述隔壁对应的部分具有晶体生长区域；

准备由蓝宝石构成的晶种；

进行所述晶种的晶体方位与所述模具的对位，以使提拉方向与所述晶种的c轴平行，并使所述隔壁的所述延伸方向成为所述晶种的a轴及m轴中的任一轴；

在进行所述对位的工序中使所述晶种的晶体方位与所述模具已对位的状态下，使所述晶种与存在于所述模具的所述晶体生长区域的蓝宝石溶液接触；以及

提拉所述晶种而使晶体生长。