[发明专利]管状蓝宝石构件、热交换器、半导体制造装置及管状蓝宝石构件的制造方法

说明书

本发明的管状蓝宝石构件是由蓝宝石构成的管状体，具备：外壁，其沿轴向延伸；多个贯通孔，它们沿所述轴向延伸；以及一个以上的隔壁，其划分多个所述贯通孔并沿所述轴向延伸，所述轴向与蓝宝石的c轴平行，至少一个的所述隔壁在沿所述轴向观察的正面观察下，从中心轴朝向所述外壁延伸而与所述外壁连接，所述隔壁的延伸方向与蓝宝石的a轴及m轴中的任一轴平行。

技术领域

本发明涉及管状蓝宝石构件、热交换器、半导体制造装置及管状蓝宝石构件的制造方法。

背景技术

由蓝宝石构成的管状构件具有优异的耐药品性，因此用于使药液流通的用途。另外，蓝宝石具有较高的热传导率，因此也适用于进行热交换的用途。由单晶构成的管状构件的制造方法记载于专利文献1、2中。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭58－26097号公报

专利文献2：日本特表2004－525852号公报

发明内容

本发明的管状蓝宝石构件是由蓝宝石构成的管状体，具备：外壁，其沿轴向延伸；多个贯通孔，它们沿所述轴向延伸；以及一个以上的隔壁，其划分多个所述贯通孔并沿所述轴向延伸，所述轴向与蓝宝石的c轴平行，至少一个的所述隔壁在沿所述轴向观察的正面观察下，从中心轴朝向所述外壁延伸而与所述外壁连接，所述隔壁的延伸方向与蓝宝石的a轴及m轴中的任一轴平行。

附图说明

图1是沿第一实施方式的管状蓝宝石构件的轴向观察到的正面观察图。

图2是第二实施方式的正面观察图。

图3是第三实施方式的正面观察图。

图4是第四实施方式的正面观察图。

图5是第五实施方式的正面观察图。

图6是第六实施方式的正面观察图。

图7是第七实施方式的正面观察图。

图8是用于制造管状蓝宝石构件的模具的俯视观察图。

图9是图8的A－A’部处的纵剖视图。

图10是表示蓝宝石的晶体结构的图。

具体实施方式

参照附图对本发明的管状蓝宝石构件进行说明。

图1是沿第一实施方式的管状蓝宝石构件1的轴向观察到的正面观察图。

如图1所示，管状蓝宝石构件1具备外壁1a和将多个贯通孔2a隔开的隔壁1b。管状蓝宝石构件1在图1中进深方向为轴向。外壁1a和隔壁1b沿轴向延伸。管状蓝宝石构件1具备多个贯通孔2a，该多个贯通孔2a在沿轴向观察的正面观察下均具有相同形状，且呈环状配置。

需要说明的是，蓝宝石是氧化铝的单晶，本发明的管状蓝宝石构件1特别适用于要求耐热性、耐腐蚀性的用途。另外，由于管状蓝宝石构件1具有透光性，因此能够观察流过贯通孔2a的流体，并且不仅通过热传导而且通过热辐射也能够向流体传递热。需要说明的是，在本发明中，管状是指具备沿轴向延伸的第一贯通孔2a的形状。管状蓝宝石构件1也可以是轴长比外径短的形状(管状板)。

在本发明的管状蓝宝石构件1中，外壁1a及隔壁1b的轴向与蓝宝石的c轴平行。在沿轴向观察的正面观察下，隔壁1b从中心轴朝向外壁1a延伸并与外壁1a连接，隔壁1b的延伸方向与蓝宝石的a轴及m轴中的任一轴平行。中心轴是指在沿轴向观察的正面观察下，通过管状蓝宝石构件1的外周面的截面的重心位置的、与轴向平行的假想轴。例如在截面为圆形状的情况下，通过该圆的中心位置并与轴向平行的假想轴为中心轴。