[发明专利]检查装置、检查装置的控制方法及控制程序有效
申请号: | 201880022746.9 | 申请日: | 2018-03-30 |
公开(公告)号: | CN110476060B | 公开(公告)日: | 2021-12-28 |
发明(设计)人: | 山下敏明;正泽道太郎;青木聪 | 申请(专利权)人: | 日本电气株式会社 |
主分类号: | G01N29/12 | 分类号: | G01N29/12;G01N29/04;G01N29/42 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 韩峰;孙志湧 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检查 装置 控制 方法 控制程序 | ||
1.一种用于检查受检对象的状态的检查装置,包括:
锤击测试仪以及在上面安装所述锤击测试仪的移动体,
所述锤击测试仪包括锤击测试仪臂以及被设置在所述锤击测试仪臂的远端处的锤击测试仪锤子部,
所述检查装置包括:
机体位置姿态估计器,其被配置为估计所述移动体的位置姿态信息并且生成机体位置姿态估计信号;
锤击测试仪锤子部位置姿态误差信号生成器,其被配置为生成锤击测试仪锤子部位置姿态误差信号;
锤击测试仪锤子部位置姿态信号生成器,其被配置为生成锤击测试仪锤子部位置姿态信号;
第一传感器数据频率特性内插器,其被配置为接收所生成的机体位置姿态估计信号,并且从所接收的机体位置姿态估计信号生成第一传感器数据频率特性内插信号;
第二传感器数据频率特性内插器,其被配置为接收所生成的锤击测试仪锤子部位置姿态误差信号和所生成的锤击测试仪锤子部位置姿态信号,并且从所接收的锤击测试仪锤子部位置姿态误差信号和所接收的锤击测试仪锤子部位置姿态信号生成第二传感器数据频率特性内插信号;以及
锤击测试仪锤子部位置姿态估计器,其被配置为接收所生成的第一传感器数据频率特性内插信号和所生成的第二传感器数据频率特性内插信号,并且从所接收的第一传感器数据频率特性内插信号和所接收的第二传感器数据频率特性内插信号生成锤击测试仪锤子部位置姿态估计信号。
2.根据权利要求1所述的检查装置,其中,
所述锤击测试仪锤子部位置姿态误差信号生成器包括:
距离传感器,其被设置在所述锤击测试仪锤子部的远端处,被配置为检测所述锤击测试仪锤子部的所述远端与锤击对象的表面之间的距离,并且从所检测的距离生成距离传感器信号;
力传感器,其被设置在所述锤击测试仪锤子部中,被配置为检测被施加到所述锤击测试仪锤子部的力信息,并且从所检测的力信息生成力传感器信号;以及
远端部位置姿态传感器,其被设置在所述锤击测试仪锤子部中,被配置为检测所述锤击测试仪锤子部的位置姿态信息,并且从所检测的位置姿态信息生成远端部位置姿态传感器信号,
其中,所述锤击测试仪锤子部位置姿态误差信号是从所述距离传感器信号、所述力传感器信号以及所述远端部位置姿态传感器信号来被生成的。
3.根据权利要求1所述的检查装置,其中,
所述锤击测试仪锤子部位置姿态信号生成器包括:
线性运动部位移传感器,其被设置在所述锤击测试仪臂的线性运动部中,被配置为检测所述线性运动部的位移信息,并且从所检测的位移信息生成线性运动部位移传感器信号;
远端部角度传感器,其被设置在所述锤击测试仪臂的远端部角度驱动部中,被配置为检测远端部角度信息,并且从所检测的远端部角度信息生成远端部角度传感器信号;以及
臂部角度传感器,其被设置在所述锤击测试仪臂的臂部角度驱动部中,被配置为检测臂部角度信息,并且从所检测的臂部角度信息生成臂部角度传感器信号,
其中,所述锤击测试仪锤子部位置姿态信号是从所述线性运动部位移传感器信号、所述远端部角度传感器信号以及所述臂部角度传感器信号来被生成的。
4.根据权利要求1所述的检查装置,其中,
所述第一传感器数据频率特性内插器被配置为:通过对所述机体位置姿态估计信号应用考虑了针对所述移动体的位置和姿态的控制系统的频率特性的加权处理和在采样频率之间的内插处理的组合,来生成所述第一传感器数据频率特性内插信号。
5.根据权利要求1所述的检查装置,其中,
所述第二传感器数据频率特性内插器被配置为:通过对所述锤击测试仪锤子部位置姿态误差信号和所述锤击测试仪锤子部位置姿态信号应用考虑了针对所述锤击测试仪臂的线性运动部、远端部以及臂部的控制系统的频率特性的加权处理和在采样频率之间的内插处理的组合,来生成所述第二传感器数据频率特性内插信号。
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