[发明专利]流体驱动阀

权利要求书

1.一种流体驱动阀，包括：阀体，其设有流体通路；以及致动器，其通过操作流体的导入或排出使所述流体通路开闭，所述致动器具有：操作流体导入室，其设置在活塞的一侧，供所述操作流体导入而形成为受压空间；以及非受压空间，其设置在所述活塞的另一侧，该非受压空间中无所述操作流体进入，

所述流体驱动阀的特征在于，

设有受压面压力传感器和非受压面压力传感器，所述受压面压力传感器检测作用有所述操作流体的压力的所述操作流体导入室的压力，所述非受压面压力传感器检测不作用所述操作流体的压力的所述非受压空间的压力。

2.根据权利要求1所述的流体驱动阀，其特征在于，包括：

活塞，其通过所述操作流体的导入或排出而移动；阀杆，其与所述活塞一体移动，使阀芯向开方向或闭方向移动；以及壳体，其收纳所述阀杆及所述活塞，所述流体驱动阀还设有位置传感器，该位置传感器检测所述阀杆或所述活塞的位置。

3.根据权利要求2所述的流体驱动阀，其特征在于，

所述压力传感器设置在所述活塞的受压面及所述活塞的非受压面。

4.根据权利要求2所述的流体驱动阀，其特征在于，

所述壳体由固定在所述阀体的下部壳体和与所述下部壳体螺合的上部壳体构成，所述压力传感器分别设置在所述上部壳体的受压面和非受压面。

5.根据权利要求4所述的流体驱动阀，其特征在于，

所述位置传感器设置在所述上部壳体，并面向阀杆的上端部。