[发明专利]流体驱动阀

说明书

本发明提供一种流体驱动阀，其容易进行连续监测，且即使在致动器正在进行工作的情况下也能够检测从致动器的操作流体泄漏。在作用有操作流体的压力的致动器(3)内部的受压面、以及不作用所述操作流体的压力的致动器(3)内部的非受压面分别设有压力传感器(21、22)。还设有检测阀杆(9)的位置的位置传感器(23)。

技术领域

本发明涉及具有通过操作流体的导入或排出使流体通路开闭的致动器的流体驱动阀，特别是涉及能够进行异常检测的流体驱动阀。

背景技术

作为具有通过操作流体的导入或排出使流体通路开闭的致动器的流体驱动阀中的进行异常检测的传感器，已知检测致动器工作的构造。

另外，专利文献1中公开了一种作为能够进行异常检测的流体驱动阀(气动阀)设有AE传感器的构造。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-117330号公报

发明内容

在使用流体驱动阀时，希望早期发现操作流体泄漏，但对于具有检测致动器工作的传感器的构造而言，例如流体驱动阀在气缸筒体(cylinder cabinet)等密闭空间中使用的情况下，即使有一些泄漏致动器也能够驱动，此时存在发现滞后而致动器不工作才检测到异常的情况。若致动器不工作，则存在下述可能：阀及周围的配管成为残留有流体的状态，例如半导体制造工艺中使用的不允许外部泄漏的有害气体残留而无法排出。

在专利文献1的流体驱动阀中，存在需要在恰当的时期实施用于异常检测的检查而难以进行连续监测的问题。

本发明的目的在于提供一种容易进行连续监测且即使在致动器正在进行工作的情况下也能够检测从致动器的操作流体泄漏的流体驱动阀。

本发明的流体驱动阀包括：阀体，其设有流体通路；以及致动器，其通过操作流体的导入或排出使所述流体通路开闭，所述流体驱动阀的特征在于，在作用有所述操作流体的压力的所述致动器内部的受压面、以及不作用所述操作流体的压力的所述致动器内部的非受压面分别设有压力传感器。

流体驱动阀是通过由操作流体的压力驱动活塞而使流体通路开闭的阀，以往在这样的阀中不进行压力检测。

在本发明的流体驱动阀中，在作用有操作流体压力的致动器内部的受压面、以及不作用操作流体压力的致动器内部的非受压面分别设有压力传感器，从而容易进行连续监测，且即使在致动器正在进行工作的情况下，也能够对从致动器的操作流体泄漏进行检测，能够早期发现异常。

优选的是，所述流体驱动阀包括：活塞，其通过所述操作流体的导入或排出而移动；阀杆，其与所述活塞一体移动，使阀芯向开方向或闭方向移动；以及壳体，其收纳所述阀杆及所述活塞，所述流体驱动阀还设有检测所述阀杆或所述活塞的位置的位置传感器。

通过进一步设置位置传感器，从而能够直接检测致动器是否正在正常工作，因此与分别在受压面及非受压设置的压力传感器组合，能够区分异常的情况，实现更高精度的异常检测。

作为形成有受压面及非受压面的构件，存在活塞、阀杆、壳体等，压力传感器可以设置在其中某个构件上。例如，存在所述压力传感器设置在所述活塞的受压面及所述活塞的非受压面上的情况。另外，所述壳体由固定在所述阀体的下部壳体和与所述下部壳体螺合的上部壳体构成，存在所述压力传感器分别设置在所述上部壳体的受压面和非受压面的情况。

作为设置位置传感器的构件，存在活塞、阀杆、壳体等，位置传感器可以设置在其中某个构件上，例如，所述位置传感器可以设置在所述上部壳体上，并面向阀杆的上端部，通过采用这种方式，能够检测使阀芯开闭的阀杆的位置，因此优选。