[发明专利]制造多个发射辐射的半导体器件的方法和发射辐射的半导体器件在审
申请号: | 201880023660.8 | 申请日: | 2018-03-21 |
公开(公告)号: | CN110494991A | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | 伊瓦尔·通林;托马斯·施勒雷特 | 申请(专利权)人: | 欧司朗光电半导体有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L33/50;H01L33/48 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 张春水;丁永凡<国际申请>=PCT/EP |
地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体芯片 发射辐射 辅助载体 半导体器件 复合件 灌封料 施加 侧面 制造 | ||
1.一种用于制造多个发射辐射的半导体器件的方法,所述方法具有如下步骤:
-提供辅助载体(1,1’),
-将多个发射辐射的半导体芯片(2)借助其背侧施加到所述辅助载体(1,1’)上,
-施加第一灌封料(8),使得产生半导体芯片复合件,以及
-借助于锯割将所述半导体芯片复合件分别在两个半导体芯片(2)之间分离,其中不分开所述辅助载体(1,1’),使得至少在所述半导体芯片(2)的侧面上分别产生所述第一灌封料(8)的层。
2.根据上一项权利要求所述的方法,其中
-每个半导体芯片(2)具有辐射可透过的载体(3),所述载体具有第一主面和侧面,所述第一主面和侧面一起形成所述半导体芯片(2)的辐射出射面,
-所述第一灌封料(8)转换波长地构成,和
-将所述半导体芯片复合件穿过所述第一灌封料(8)分开,使得在所述载体(3)的第一主面和所述载体(3)的侧面上产生转换波长的层(9)。
3.根据上一项权利要求所述的方法,其中
-将第二透明的灌封料(10)施加到所述半导体芯片复合件上,和
-将所述半导体芯片复合件借助于锯割在两个半导体芯片(2)之间穿过透明的灌封料(10)分离,其中不分开所述辅助载体(1,1’),使得在所述转换波长的层(9)的侧面上产生透明的灌封料(10)的层,所述层具有倾斜的外面。
4.根据上述权利要求中任一项所述的方法,
其中通过锯割所述第一灌封料(8)或所述第二灌封料(10)产生倾斜的外面,所述外面优选具有凸状的拱曲部。
5.根据权利要求3至4中任一项所述的方法,
其中将所述第二透明的灌封料(10)施加为,使得其填充在所述半导体芯片(2)之间的中间空间,直至所述转换波长的层(9)的表面,使得所述第二透明的灌封料(10)和所述转换波长的层(9)彼此齐平。
6.根据权利要求1所述的方法,其中
所述第一灌封料(8)转换波长地构成,和
将所述第一转换波长的灌封料(8)直至所述辅助载体(1,1’)完全分开。
7.根据权利要求1所述的方法,其中
不将所述第一转换波长的灌封料(8)直至所述辅助载体(1,1’)完全分开,使得所述第一转换波长的灌封料(8)的残留物保留在所述辅助载体(1,1’)上。
8.根据上一项权利要求所述的方法,其中
所述第一转换波长的灌封料(8)沿着垂直方向具有在10微米和100微米之间的厚度,其中包括边界值,其中所述第一转换波长的灌封料在锯割之后保留在所述辅助载体(1,1’)上。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的方法,
其中将所述转换波长的层(9)的外面在分离时倾斜地构成。
10.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中
-将第三反射性的灌封料(12)施加到所述半导体芯片复合件上,和
-将所述半导体芯片复合件借助于锯割在两个半导体芯片(2)之间穿过所述第三反射性的灌封料(12)分开,其中不分开所述辅助载体(1,1’)。
11.根据上述权利要求中任一项所述的方法,其中
-将所述辅助载体(1,1’)移除,使得每个半导体芯片(2)在背侧的至少一个电接触部(7)能自由触及,以及
-电镀地增强每个半导体芯片(2)的至少一个在背侧的电接触部(7)。
12.根据上述权利要求中任一项所述的方法,
其中将半导体芯片(2)施加到所述辅助载体(1,1’),所述半导体芯片已经设有转换波长的层(9)。
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