[发明专利]洗净水供给装置有效
| 申请号： | 201880024524.0 | 申请日： | 2018-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN110494959B | 公开（公告）日： | 2022-09-30 |
| 发明（设计）人： | 森田博志;颜畅子 | 申请（专利权）人： | 栗田工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/304 | 分类号： | H01L21/304 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 陈曦;向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 洗净 供给 装置 | ||
1.一种洗净水供给装置，其具有在超纯水中添加pH调整剂及/或氧化还原电位调整剂来制造一定浓度的洗净水的洗净水制造部，其特征在于，
所述洗净水供给装置包括：
贮留来自洗净水制造部的洗净水的贮留槽；及
将该贮留槽内的洗净水供给至洗净机的供给机构，
并且，所述洗净水供给装置具有：
以前述贮留槽内的洗净水位成为预定范围的方式控制前述洗净水制造部的控制机构；
在来自前述洗净水制造部的洗净水的水质为规定范围外时将洗净水制造部导至排出线路的切换机构；及
由将贮留槽内的洗净水供给至洗净机的配管分支出的回流配管，该回流配管的末端侧连接于贮留槽，
前述控制机构在前述洗净水制造部停止的期间，不在超纯水中添加pH调整剂和氧化还原电位调整剂而使超纯水以小流量通水至洗净水制造部，此时的通水出口水设为由排出线路进行排水或在超纯水的回流配管合流的任一者。
2.如权利要求1所述的洗净水供给装置，其中，
其具有将溶质从来自前述排出线路的排出水中去除而对水进行回收的去除部。
3.如权利要求1或2所述的洗净水供给装置，其中，
前述控制机构将前述洗净水制造部中的洗净水的制造流量预先设定为2个阶段，在贮留槽的水位成为第1预定水位以上时，将制造流量由高流量切换成低流量，在水位成为第2预定水位以下的阶段，由低流量切换成高流量。
4.如权利要求2所述的洗净水供给装置，其中，
在去除部去除溶质后的回收水导至剩余超纯水的回流配管或超纯水槽。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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