[发明专利]电连接装置

权利要求书

1.一种电连接装置，其用于测量被检查体的电特性，其特征在于，

该电连接装置包括：

多个探针，在测量时，该多个探针的端头部与所述被检查体相接触；

空间转换器，其具有多个连接布线，该多个连接布线的与所述多个探针中的任一个探针的基端部电连接的第1端子配置于该空间转换器的第1主表面，且该多个连接布线的第2端子在该空间转换器的第2主表面暴露，在所述第1主表面形成有短路布线图案，该短路布线图案将所述多个探针中在测量时被设定为相同电位的多个相同电位探针的基端部与相同的所述连接布线电连接；以及

电极基板，该电极基板与所述第2主表面相对，且配置有电极焊盘，该电极焊盘供所述第2端子连接；

所述空间转换器是在下表面为所述第1主表面的支承基板的上表面配置了所述第2主表面为上表面的树脂层而成的结构，

包含所述第2端子的所述连接布线的一部分自所述第2主表面延伸，从而所述第2端子在所述第2主表面暴露，

所述连接布线是具有柔软性的导电性引线，通过使所述连接布线在所述树脂层的内部和所述空间转换器与所述电极基板之间弯曲，从而使所述第2端子的间隔大于所述第1端子的间隔。

2.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

所述短路布线图案将相邻的多个所述相同电位探针连接起来。

3.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

与1个所述短路布线图案电连接的所述连接布线有多条。

4.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

在所述电极基板配置有与多个所述第2端子分别电连接的多个电极焊盘。

5.根据权利要求4所述的电连接装置，其特征在于，

利用所述连接布线的自所述第2主表面延伸的部分将所述探针的基端部和所述电极焊盘电连接。

6.根据权利要求1所述的电连接装置，其特征在于，

所述连接布线的位置在所述第2主表面被所述树脂层固定。