[发明专利]电连接装置

说明书

本发明提供一种电连接装置，其包括：多个探针(10)，在测量时，该多个探针的端头部与被检查体(2)相接触；以及空间转换器(30)，其具有多个连接布线(33)，该多个连接布线的与多个探针(10)中的任一个探针的基端部电连接的第1端子配置于该空间转换器的第1主表面(301)，且该多个连接布线的第2端子在该空间转换器的第2主表面(302)暴露，在第1主表面形成有短路布线图案，该短路布线图案将多个探针(10)中在测量时被设定为相同电位的多个相同电位探针的基端部与相同的连接布线(33)电连接。

技术领域

本发明涉及一种在被检查体的电特性的测量中使用的电连接装置。

背景技术

为了通过基板的状态对集成电路等被检查体的电特性进行测量，使用具有与被检查体接触的探针的电连接装置。在电连接装置中，使用有将保持探针的探针头安装于配置有与探针电连接的电极焊盘的电极基板的结构等。

探针的间隔与配置于被检查体的检查用焊盘(日文：検査用パッド)的间隔相对应。为了使配置于电极基板的电极焊盘的间隔大于探针的间隔而使用一种在探针头与电极基板之间配置有空间转换器的结构的电连接装置(例如参照专利文献1。)。在空间转换器的与探针头相对的主表面配置有与探针的基端部相连接的端子。另一方面，在空间转换器的与电极基板相对的主表面配置有与电极基板的电极焊盘相连接的端子。空间转换器和电极基板通过例如导电性的引线等电连接。以下，将空间转换器和电极基板连接起来的引线称作“连接引线”。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007－178405号公报

发明内容

发明要解决的问题

对于空间转换器的与探针相连接的端子，准备与探针的根数相同的个数的端子。在与此对应地将空间转换器的与电极基板的电极焊盘相连接的端子的个数与探针的根数设为相同的情况下，会产生各种问题。例如，导致空间转换器和电极基板相连接的连接引线的集成度变高，由此，将连接引线固定的树脂不易流入空间转换器的表面。另外，随着探针的根数的增加，连接引线的条数增加，制造工序增多。

鉴于上述问题点，本发明的目的在于，提供一种能够抑制与空间转换器相连接的连接引线的条数的电连接装置。

用于解决问题的方案

根据本发明的一技术方案，提供一种电连接装置，该电连接装置包括：多个探针，在测量时，该多个探针的端头部与被检查体相接触；以及空间转换器，其具有多个连接布线，该多个连接布线的与多个探针中的任一个探针的基端部电连接的第1端子配置于该空间转换器的第1主表面，且该多个连接布线的第2端子在该空间转换器的第2主表面暴露，在所述第1主表面形成有短路布线图案，该短路布线图案将多个探针中在测量时被设定为相同电位的多个相同电位探针的基端部与相同的连接布线电连接。

发明的效果

采用本发明，能够提供一种能抑制与空间转换器相连接的连接引线的条数的电连接装置。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式的电连接装置的结构的示意图。

图2是表示本发明的实施方式的电连接装置的空间转换器和电极基板的结构的示意图。

图3是表示比较例的空间转换器和电极基板的结构的示意图。

图4是表示本发明的实施方式的电连接装置的空间转换器和电极基板的另一个结构的示意图。