[发明专利]废气的减压除害装置在审
| 申请号： | 201880025531.2 | 申请日： | 2018-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN110573234A | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 前田昌志;吉田哲久;柳泽道彦;塚田勉;今村启志 | 申请（专利权）人： | 北京康肯环保设备有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/76 | 分类号： | B01D53/76;B01D53/46;B01D53/68;F23G7/06;H01L21/02 |
| 代理公司： | 11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 100052 北京市朝阳区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应筒 真空泵 废气 除害装置 减压 清洗水 等离子体加热 氮气 电热加热器 废气出口 废气处理 废气流路 侧连接 产生源 密封水 排气口 水封泵 下游端 稀释 分解 激发 | ||
1.一种废气的减压除害装置，是具备反应筒(16)和后级真空泵(22)的废气(E)的减压除害装置，
该反应筒(16)将经由真空泵(14)从废气产生源(12)供给的废气(E)在形成于所述反应筒(16)的内部的废气处理空间(16a)中通过电热加热器(18)或等离子体进行加热或激发而进行分解和/或反应处理；
该后级真空泵(22)与所述反应筒(16)的废气出口(20)侧连接，从所述真空泵(14)的排气口到所述反应筒(16)的内部进行减压，
其特征在于，
由水封泵构成所述后级真空泵(22)，并且设置用清洗水(W)对所述反应筒(16)的废气流路的下游端侧进行水洗的水洗部件(24)，
将从所述水洗部件(24)供给到所述反应筒(16)的废气流路的下游端侧的清洗水(W)作为所述后级真空泵(22)的密封水。
2.根据权利要求1所述的废气的减压除害装置，其特征在于，
该废气的减压除害装置设置有分解/反应辅助剂供给部件(26)，该分解/反应辅助剂供给部件(26)向所述反应筒(16)的内部供给选自由水分、空气、O2、H2或碳化氢气体构成的组的至少1种作为分解/反应辅助剂。
3.根据权利要求1或2所述的废气的减压除害装置，其特征在于，
在所述反应筒(16)的内部设置有掸落要堆积的粉尘的粉尘掸落部件(28)。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的废气的减压除害装置，其特征在于，
该废气的减压除害装置还设置有在减压气氛中对导入所述反应筒(16)的废气(E)进行水洗的湿式的入口洗涤器(50)。
5.根据权利要求4所述的废气的减压除害装置，其特征在于，
利用循环泵(54)使在所述入口洗涤器(50)中使用的洗涤器水(SW)循环，并且将循环的洗涤器水(SW)的一部分作为清洗水(W)供给至所述水洗部件(24)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京康肯环保设备有限公司，未经北京康肯环保设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880025531.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于减少全氟化合物并生成氟化锡的装置和方法
- 下一篇：被动NO
