[发明专利]图像传感器、图像传感器制造方法、电子装置和摄像模块

说明书

一种摄像器件包括光电检测器和设置在光电检测器的光接收表面上的滤光器。滤光器可以包括衍射光栅、芯层和设置在芯层的第一相对侧和第二相对侧的反射器。在一些情况下，例如GMR滤波器的滤光器利用在光的入射平面或与入射平面平行的平面上的电磁波的干涉。反射器可以反射相邻滤光器之间的电磁波。本技术可以应用于例如设有GMR滤波器的图像传感器，诸如背面照射或正面照射型CMOS图像传感器。

技术领域

根据本公开的实施例的技术(下文中，也称为“本技术”)涉及图像传感器、图像传感器制造方法、电子装置和摄像模块，尤其涉及使用结构滤色器的图像传感器、图像传感器制造方法、电子装置和摄像模块。

背景技术

在相关技术中，作为结构滤色器之一的导模共振(guided mode resonance，GMR)滤波器用于各种应用。GMR滤波器是通过衍射光栅和包芯结构(clad-core structure)的组合能够仅透射窄波长带(窄带)光的光学滤波器(例如，参见专利文献1至3以及非专利文献1)。

引用列表

专利文献

PTL 1：JP 2011-13330A

PTL 2：JP 2011-180426A

PTL 3：JP 2012-190848A

非专利文献

NPL 1：D.Rosenblatt等，“Resonant grating waveguide structures(谐振光栅波导结构)”，IEEE Journal of Quantum Electronics，IEEE，1997年11月，33卷，11期，2038-2059页

发明内容

技术问题

顺便提及，在GMR滤波器用作诸如CMOS图像传感器或CCD图像传感器之类的图像传感器的波长选择滤波器的情况下，GMR滤波器可能不利地增大了图像传感器的尺寸。

本技术是鉴于这种情况而作出的，期望减小设有诸如GMR滤波器等结构滤色器的图像传感器或设有该图像传感器的装置的尺寸，该结构滤色器利用光的入射平面或平行于该入射平面的平面上的电磁波的干涉。

技术问题的解决方案

本技术的第一方面的摄像器件包括：光电检测器；以及设置在光电检测器的光接收表面上的滤光器，其中，滤光器包括衍射光栅、芯层和设置在芯层的第一相对侧和第二相对侧的反射器。在一些实施例中，反射器的折射率不同于芯层的折射率。

本技术的第二方面的摄像器件包括：第一光电检测器；与第一光电检测器相邻的第二光电检测器；设置在第一光电检测器和第二光电检测器的光接收表面上方的滤光器。在一些实施例中，设置在第一光电检测器上方的滤光器的第一部分和设置在第二光电检测器上方的滤光器的第二部分均包括衍射光栅和芯层。在一些情况下，反射器位于滤光器的第一部分的芯层和滤光器的第二部分的芯层之间。在某些实施例中，反射器的折射率不同于滤光器的第一部分的芯层的折射率和滤光器的第二部分的芯层的折射率。

本技术的第三方面的图像传感器包括：结构滤色器，其利用在光的入射平面或与入射平面平行的平面上的电磁波的干涉；以及反射器，其用于在相邻的结构滤色器之间反射电磁波。

本技术的第四方面的图像传感器制造方法包括：形成结构滤色器，该结构滤色器利用在光的入射平面或与入射平面平行的平面上的电磁波的干涉；并形成反射器，该反射器在相邻的结构滤色器之间反射电磁波。

本技术的第五方面的电子装置包括：图像传感器；和信号处理单元，其处理从图像传感器输出的信号，其中，图像传感器包括结构滤色器和反射器，该结构滤色器利用在光的入射平面或与入射平面平行的平面上的电磁波的干涉，该反射器在相邻的结构滤色器之间反射电磁波。