[发明专利]涂敷处理装置、涂敷处理方法和光学膜形成装置

说明书

涂敷处理装置(10)包括：保持基片并使其在水平的一个方向移动的基片移动部(12、13)；长条状的涂敷喷嘴(14)，其在与基片移动部的移动方向正交的方向延伸，对基片移动部所保持的基片排出涂敷液；使涂敷喷嘴在涂敷喷嘴的延伸方向移动的涂敷喷嘴移动部(16)；和控制部(18)，其通过控制基片移动部和涂敷喷嘴移动部的移动速度，来控制相对于基片移动部所保持的基片的涂敷方向。

技术领域

本发明涉及在基片上涂敷含有光学材料的涂敷液的涂敷处理装置、使用该涂敷处理装置的涂敷处理方法和使用该涂敷处理装置的光学膜形成装置。

背景技术

例如，在有机发光二极管(OLED：Organic Light Emitting Diode)中，为了防止外光的反射而使用了圆偏光片。圆偏光片是将直线偏光片和波长片(相位差片)以它们的偏光轴45度交叉的方式层叠地制作而成。另外，在液晶显示器(LCD：Liquid Crystal Display)中，为了控制显示中的旋光性、双折射性，也使用了上述直线偏光片和波长片。

另外，也存在例如仅将波长片以其偏光轴倾斜15度、75度的方式形成的情况。因此，需要将偏光片、波长片以任意的角度形成。而且，为了使偏光片、波长片的偏光轴以任意的角度交叉，也需要单独地形成上述偏光片、波长片。

一直以来，这样的偏光片、波长片例如使用延伸膜来制作。延伸膜是通过使膜在一个方向延伸并粘贴，来使其材料中的分子在一个方向上取向的膜。

然而，近年来，随着OLED、LCD的薄型化，也追求偏光片、波长片的薄膜化。但是，在制作偏光片、波长片时，在如一直以来那样使用延伸膜的情况下，使延伸膜本身的膜厚减薄的作法存在极限，不能够得到足够薄的膜。

因此，在基片上涂敷具有规定材料的涂敷液，形成所需的膜厚的偏光片、波长片，来实现薄膜化。具体而言，例如将作为规定材料的具有液晶性的涂敷液涂敷到基片，使其流延、取向。液晶化合物在涂敷液中形成了超分子聚合体，当一边施加剪切应力一边使涂敷液流动时，超分子聚合体的长轴方向取向为流动方向。

这样一来，使得能够在基片上涂敷涂敷液，因此现有技术中提出了多种装置。

例如，专利文献1所记载的偏光膜印刷装置具有用于保持基片的保持台和对基片排出墨液的涂敷模头(slot die)。保持台为在挖出了台面的部分的框板中嵌入台面的结构，由此使台面周边部的高度与固定于台面的基片的表面为相同的高度。涂敷以至少覆盖台面的方式延伸。而且，以将台面配置于印刷方向的状态下在其上固定基片，然后使该台面旋转，使基片相对于印刷方向倾斜规定的角度后，使涂敷模头在印刷方向移动以在基片上涂敷墨液。

另外，例如，在专利文献2所记载的涂敷装置中，当向上方开口时用具有在水平方向延伸的带状的狭缝的涂敷头供给涂敷液，将该涂敷液从狭缝排出而形成液滴，使平面形状为矩形的被涂敷基片大致沿其一条对角线方向在涂敷头的上方朝向斜上方相对地移动，用形成于涂敷头与被涂敷基片之间的液滴使涂敷液附着到被涂敷基片的涂敷面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-62502号公报。

专利文献2：日本特开平10-5677号公报。

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，在使用专利文献1所记载的偏光膜印刷装置的情况下，由于涂敷模头以至少覆盖台面的方式延伸，因此，在基片上涂敷墨液时，将墨液排出到固定于台面的基片，并且将墨液也排出到台面周围的框板而附着在此处。因此，对每个基片的涂敷处理需要逐片地清洗框板，耗费工夫。