[发明专利]缺陷检查装置和缺陷检查方法

权利要求书

1.一种缺陷检查装置，其特征在于，具备：

照明部，其向试样的检查对象区域照明从光源射出的光；

检测部，其检测从上述检查对象区域产生的多个方向的散射光；

光电变换部，其将通过上述检测部检测出的上述散射光变换为电信号；

信号处理部，其对通过上述光电变换部变换后的上述电信号进行处理，检测上述试样的缺陷，

上述检测部具备使从上述检查对象区域产生的上述散射光聚光的物镜、以及对开口进行分割而在上述光电变换部上将上述检查对象区域的像成像为多个的成像部，

上述信号处理部对与成像的多个像对应的电信号进行合成，检测上述试样的缺陷，

上述成像部具备：

成像用柱面透镜阵列，其将通过上述物镜聚光的像形成在上述光电变换部上，

上述光电变换部具备与构成上述成像用柱面透镜阵列的各个柱面透镜对应的多个像素块，

上述成像部在上述光电变换部的上述多个像素块分别形成上述检查对象区域的像。

2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述检测部还具备：

光圈，其配置在预定位置，屏蔽通过成像透镜成像的像中的没有通过上述光电变换部进行光电变换的区域。

3.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述检查对象区域被分割为多个检查区域，

上述像素块由分别与所分割的上述多个检查区域对应的多个像素组构成，

上述像素组分别具有配置为线状的多个像素，

上述光电变换部将上述多个像素电连接起来，合并上述多个像素输出的光电变换信号，输出上述电信号。

4.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述检测部还具备配置在上述物镜的光瞳被中继的位置并对上述物镜的光瞳进行分割的光瞳分割用柱面透镜阵列，上述成像用柱面透镜阵列按照分割的每个光瞳区域，在上述光电变换部上形成上述像。

5.根据权利要求4所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述检测部还具备将上述物镜所聚光的光成像在预定位置的成像透镜、以及对上述成像透镜所形成的像进行聚光的聚光透镜，

上述光瞳分割用柱面透镜阵列被配置在上述聚光透镜的光瞳位置。

6.根据权利要求5所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述光瞳分割用柱面透镜阵列配置在上述聚光透镜的后侧焦点位置。

7.根据权利要求3所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述缺陷检查装置还具备：增益控制部，其针对上述光电变换部的上述像素块的每个上述像素组，确定与输入到上述像素的光量对应的上述电信号的输出强度。

8.根据权利要求7所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述光电变换部由对每个上述像素形成的雪崩光电二极管构成，

上述增益控制部控制向上述雪崩光电二极管施加的反向电压。

9.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述成像部按照对每个上述像确定的倍率，对上述开口进行分割，将多个像形成在上述光电变换部上。

10.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述光电变换部与成像在上述光电变换部上的像的倍率对应地，设定形成在上述光电变换部的像素的间距。

11.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，

上述成像部按照对每个上述像确定的倍率，在上述光电变换部上，在一个方向上形成上述检查对象区域的像，在与上述一个方向不同的其他方向上形成上述物镜的光瞳的位置的像。