[发明专利]正型感光性硅氧烷组合物以及使用其而形成的固化膜

权利要求书

1.一种正型感光性硅氧烷组合物，其包含：

(I)聚硅氧烷，其包含由以下的通式(Ia)表示的重复单元：

式中，

R¹表示氢，1～3价的C_1～30的直链状、分支状或者环状的、饱和或者不饱和的脂肪族烃基，或1～3价的C_6～30的芳香族烃基，

在所述脂肪族烃基以及所述芳香族烃基中，1个以上的亚甲基是被氧基、酰亚胺或者羰基置换了或者非置换，1个以上的氢是被氟、羟基、或者烷氧基置换了或者非置换，并且1个以上的碳是被硅置换了或者非置换，并且

R¹为2价或3价基团的情况下，R¹将多个重复单元中所含的Si彼此进行连结，

(II)重氮基萘醌衍生物，

(III)添加剂，其从由包含季铵结构的化合物组成的组中选出，以及

(IV)溶剂。

2.根据权利要求1所述的组合物，其中，所述聚硅氧烷进一步包含由以下的通式(Ib)表示的重复单元：

3.根据权利要求1或2所述的组合物，其中，将所述聚硅氧烷进行了预烘烤之后形成的膜对2.38重量％四甲基氢氧化铵水溶液的溶解速度为

4.根据权利要求1～3中任一项所述的组合物，其中，所述添加剂(III)中的氮阳离子的含量相对于所述聚硅氧烷100重量份而言为0.0005～0.05重量份。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的组合物，其中，所述添加剂(III)由下述通式(III-i)表示：

式中，R^a各自独立地为直链状、分支状或者环状的、C_1～20的烷基，C_6～20的芳基，或者C_7～20的芳基烷基，4个R^a之中的至少一个为C_1～3的烷基，并且

X^-为卤离子、羧酸根离子、硝酸根离子、磺酸根离子、或者硫酸氢根离子。

6.一种固化膜，其由权利要求1～5中任一项所述的正型感光性硅氧烷组合物形成。

7.根据权利要求6所述的固化膜，其相对于波长400nm的光的透射率为90％以上。

8.一种电子器件，其具备权利要求6或7所述的固化膜。