[发明专利]正型感光性硅氧烷组合物以及使用其而形成的固化膜

说明书

[目的]本发明提供一种可形成具有高的透射率的固化膜的正型感光性组合物。[手段]一种正型感光性硅氧烷组合物，其包含聚硅氧烷、重氮基萘醌衍生物、包含季铵结构并且可与前述聚硅氧烷相互作用的添加剂、以及溶剂。在添加剂与聚硅氧烷之间，在曝光之前存在有相互作用，但是利用曝光而使得该相互作用失去。

技术领域

本发明涉及正型感光性硅氧烷组合物。另外，本发明也涉及由该正型感光性硅氧烷组合物形成的固化膜、以及具有该固化膜的元件。

背景技术

在显示器领域或光学领域，通常在显示器等的表面形成具有高的透射率的覆膜。例如，在平板显示器(FPD)等的表面通常形成平整化膜。关于这样的平整化膜的材料，人们着眼于聚硅氧烷，报告了多种通过将感光剂组合于该聚硅氧烷而得到的感光性组合物。

但是，在这样的感光性组合物方面虽然存在有高灵敏度化的需求，但是因此而提高感光剂的含有率时，则存在有如下的两难窘境：因在覆膜中存在的感光剂，导致所形成的覆膜的透射率降低。出于这样的理由，因而也正在对能够实现高的透射率的感光剂进行着研究，但是仍存在改良的余地。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第5233526号说明书

专利文献2：日本特开2013-114238号公报

发明内容

发明想要解决的课题

本发明想要解决上述那样的在现有技术中应当改善的问题，提供一种正型感光性组合物，其可形成具有高的残膜率、高的灵敏度、以及高的透射率的固化膜。

用于解决课题的方案

本发明的正型感光性硅氧烷组合物的特征在于，其包含：

(I)聚硅氧烷，其包含由以下的通式(Ia)表示的重复单元：

式中，

R¹表示氢，1～3价的C_1～30的直链状、分支状或者环状的、饱和或者不饱和的脂肪族烃基，或1～3价的C_6～30的芳香族烃基，

在前述脂肪族烃基以及前述芳香族烃基中，1个以上的亚甲基是被氧基、酰亚胺或者羰基置换了或者非置换，1个以上的氢是被氟、羟基、或者烷氧基置换了或者非置换，并且1个以上的碳是被硅置换了或者非置换，并且

R¹为2价或3价基团的情况下，R¹将多个重复单元中所含的Si彼此进行连结，

(II)重氮基萘醌衍生物，

(III)添加剂，其从由包含季铵结构的化合物组成的组中选出，以及

(IV)溶剂。

另外，本发明的固化膜的特征在于，其由前述正型感光性硅氧烷组合物形成。

此外，本发明的电子器件(device)的特征在于，其具备前述固化膜。

发明的效果

根据本发明的正型感光性组合物，可形成适于用作电子器件的保护膜等的具有高的残膜率、高的灵敏度、高的透射率的固化膜。

具体实施方式

以下对本发明的实施方式进行详细说明。

在本说明书中，使用“A～B”而表示数值范围的情况下，只要不是特别地限定地言及，它们就包含两方的端点A和B，单位是共通的。例如，5～25摩尔％表示5摩尔％以上且25摩尔％以下。