[发明专利]用于在超高分辨率面板中侦测缺陷的方法

权利要求书

1.一种用于检验电路的系统，所述电路包含彼此相互间隔开的多个导体，所述系统包含：

一电压驱动器，其运行以对所述多个导体中的数个导体施加不同电压，其中所述数个导体彼此在空间上邻近，其中所述数个导体相互隔开并且大致平行，且其中所述电压驱动器同时将不同电压施加到大致平行的导体中的交替导体；

一传感器，其运行以感测由所述系统相对于所述电路所界定的一测试区的至少一个特性，所述传感器缺乏足以在所述数个导体中的单独者的位置之间进行区分的空间分辨率，其中所述传感器经配置以测量由所述数个导体产生的电场的总体叠加，且其中所述传感器包括电光调制器；以及

一缺陷指示器，响应于所述传感器的至少一个输出而判断所述数个导体中是否存在一缺陷。

2.如权利要求1所述的用于检验电路的系统，其中该电压驱动器所施加的所述不同电压被选择成使得于所述测试区处的所述电场的总体叠加在所述数个导体中不存在缺陷的情况下为零。

3.如权利要求2所述的用于检验电路的系统，其中所述电压驱动器所施加的所述不同电压被选择成使得于所述测试区处的所述电场的所述总体叠加在所述数个导体中存在缺陷的情况下为非零。

4.如权利要求1所述的用于检验电路的系统，其中所述缺陷指示器运行以基于由所述传感器侦测的于所述测试区处的所述电场的所述总体叠加而判断一缺陷的位置。

5.如权利要求4所述的用于检验电路的系统，其中所述缺陷指示器基于所述测试区处的所述电场的所述总体叠加的一值而判断一缺陷的位置。

6.如权利要求1所述的用于检验电路的系统，其中所述测试区位于所述数个导体上方。

7.如权利要求1所述的用于检验电路的系统，其中该所述感器为一电场传感器。

8.如权利要求1所述的用于检验电路的系统，其中所述传感器为一电光传感器。

9.如权利要求1所述的用于检验电路的系统，其中所述传感器为一光学传感器。

10.如权利要求1所述的用于检验电路的系统，其中所述缺陷指示器提供关于一缺陷及其位置的一能由人类视觉感测的指示。

11.一种用于检验电路的系统，所述电路包含彼此相互间隔开的多个导体，所述系统包含：

一传感器，其运行以感测由所述系统相对于所述电路所界定的一测试区的至少一个特性，其中所述传感器经配置以测量由数个导体产生的电场的总体叠加，且其中所述传感器包括电光调制器；

一电压驱动器，其运行以对所述多个导体中的所述数个导体施加不同电压，所述数个导体彼此在空间上邻近，所述电压驱动器将所述不同电压选择成使得于所述测试区处的所述电场的总体叠加在所述数个导体中不存在缺陷的情况下为零，其中所述数个导体相互隔开并且大致平行，且其中所述电压驱动器同时将不同电压施加到大致平行的导体中的交替导体；以及

一缺陷指示器，响应于所述传感器的一输出而判断所述数个导体中是否存在一缺陷。

12.如权利要求11所述的用于检验电路的系统，其中所述传感器缺乏足以在所述数个导体的位置之间进行区分的空间分辨率。

13.如权利要求11所述的用于检验电路的系统，其中所述电压驱动器所施加的所述不同电压被选择成使得于所述测试区处的所述电场的所述总体叠加在所述数个导体中存在缺陷的情况下为非零。

14.如权利要求11所述的用于检验电路的系统，其中所述缺陷指示器运行以基于由所述传感器侦测的于所述测试区处的所述电场的所述总体叠加而判断一缺陷位置。