[发明专利]用于在超高分辨率面板中侦测缺陷的方法

说明书

一种用于检验电路的系统，这些电路包含彼此相互间隔开的多个导体，该系统包含：一电压驱动器，运行以对该多个导体中的数个导体施加不同电压，这些导体彼此在空间上邻近；一传感器，运行以感测由该系统相对于这些电路所界定的一测试区的至少一个特性，该传感器缺乏足以在这些导体其中的单独者的位置之间进行区分的空间分辨率；以及一缺陷指示器，因应于该传感器的至少一个输出而判断这些导体中是否存在一缺陷。

相关申请案的引用

2017年6月22日申请的第62/523,275号美国临时申请案（名称为在超高分辨率面板中侦测缺陷的方法）及于2017年11月23日申请的第62/590,277号美国临时申请案（名称为用于在超高分辨率面板中侦测缺陷的方法）均被引用，且两者所公开内容在此以引用方式并入，并依法主张优先权。

技术领域

本发明关于自动化电路检验系统及方法。

背景技术

人们已知各种类型的平板显示器检验系统。一个早期的此种系统阐述于美国专利第5,764,209号中，该美国专利的公开内容以引用方式并入本文中。

发明内容

本发明力图提供一种改良的用于电路检验的系统及方法。

因此，根据本发明的一较佳实施例，一种用于检验电路的系统，这些电路包含彼此相互间隔开的多个导体，该系统包含：一电压驱动器，运行以对该多个导体中的数个导体施加不同电压，这些导体彼此在空间上邻近；一传感器，运行以感测由该系统相对于这些电路所界定的一测试区的至少一个特性，该传感器缺乏足以在这些导体其中的单独者的位置之间进行区分的空间分辨率；以及一缺陷指示器（defect indicator），因应于该传感器的至少一个输出而判断这些导体中是否存在一缺陷。

较佳地，该电压驱动器所施加的这些不同电压被选择成使得于该测试区处电场的总体叠加（overall superimposition）在这些导体中不存在缺陷的情况下为零。另外，该电压驱动器所施加的这些不同电压被选择成使得于该测试区处的这些电场的该总体叠加在这些导体中存在缺陷的情况下为非零。

根据本发明的一较佳实施例，该缺陷指示器运行以基于由该传感器侦测的于该测试区处的这些电场的该总体叠加而判断一缺陷的位置。另外，该缺陷指示器基于该测试区处的这些电场的该总体叠加的一值而判断一缺陷的位置。

较佳地，该测试区位于这些导体上方。

根据本发明的一较佳实施例，该传感器为一电场传感器。较佳地，该传感器为一电光传感器（electro-optical sensor）。作为另一选择，该传感器为一光学传感器。

根据本发明的一较佳实施例，该缺陷指示器提供关于一缺陷及其位置的一可由人类视觉感测的指示。

根据本发明的另一较佳实施例，还提供一种用于检验电路的系统，这些电路包含彼此相互间隔开的多个导体，该系统包含：一传感器，运行以感测由该系统相对于这些电路所界定的一测试区的至少一个特性；一电压驱动器，运行以对该多个导体中的数个导体施加不同电压，这些导体彼此在空间上邻近，该电压驱动器将这些不同电压选择成使得于该测试区处电场的总体叠加在这些导体中不存在缺陷的情况下为零；以及一缺陷指示器，因应于该传感器的一输出而判断这些导体中是否存在一缺陷。

根据本发明的一较佳实施例，该传感器缺乏足以在这些导体的位置之间进行区分的空间分辨率。另外或作为另一选择，该电压驱动器所施加的这些不同电压被选择成使得于该测试区处的这些电场的该总体叠加在这些导体中存在缺陷的情况下为非零。

较佳地，该缺陷指示器运行以基于由该传感器侦测的于该测试区处的这些电场的该总体叠加而判断一缺陷位置。另外，该缺陷指示器基于该测试区处的这些电场的该总体叠加的一值而判断该缺陷位置。

根据本发明的一较佳实施例，该测试区位于这些导体上方。