[发明专利]用于半导体检验及计量系统的可扩展及灵活作业分发架构在审
| 申请号： | 201880030424.9 | 申请日： | 2018-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN110612514A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | A·古普塔;S·梵卡泰若曼;S·巴拉西加姆;M·马哈德凡 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G06F9/50 | 分类号： | G06F9/50 |
| 代理公司： | 11287 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘丽楠 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 输入图像数据 图像处理作业 主节点 架构 半导体检查 半导体晶片 混合处理器 计算机架构 作业管理器 并行运行 成像处理 处理图像 分发软件 计算系统 实时作业 处理量 高带宽 光罩 界定 分发 指派 计量 | ||
1.一种系统，其包括：
多个工作者节点，其中所述工作者节点中的每一者包含：
至少一个CPU，其运行工作者作业管理器，其中所述工作者作业管理器经配置以将接收的作业划分为多个任务；及
至少一个GPU，其与所述CPU电子通信；
其中所述工作者作业管理器中的每一者经配置以将所述接收的作业的所述任务中的每一者指派到所述工作者节点中的所述CPU中的一者或所述GPU中的一者；
其中所述工作者作业管理器中的每一者经配置以确定是否指派所述任务中的一者到所述工作者节点中的所述CPU中的一者而非所述GPU中的一者，或是否指派所述任务中的一者到所述工作者节点中的所述GPU中的一者而非所述CPU中的一者；及
主节点，其与所述多个所述工作者节点电子通信，其中所述主节点接收关于半导体晶片或光罩的输入图像数据，且其中所述主节点经配置以：
将所述输入图像数据划分为至少第一作业；及
将所述第一作业分发到所述工作者节点中的一者；及
其中所述工作者作业管理器中的每一者进一步经配置以使所述第一作业中的所述任务优先于稍后作业中的任务。
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述工作者节点中的一者中的所述CPU多于所述GPU。
3.根据权利要求1所述的系统，其中所述工作者节点中的一者中的所述GPU多于所述CPU。
4.根据权利要求1所述的系统，其中所述主节点经进一步配置以将所述输入图像数据划分为第二作业，且将所述第二作业分发到所述工作者节点中的一者。
5.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括所述工作者节点中的一者中的与运行所述工作者作业管理器的所述CPU电子通信的另一CPU。
6.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括与所述主节点电子通信的至少一个CPU工作者节点，其中所述CPU工作者节点包含不具有所述GPU中的任一者的所述CPU中的一或多者，且其中所述CPU工作者节点中的所述CPU中的一者运行所述工作者作业管理器。
7.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括与所述主节点电子通信的至少一个GPU工作者节点，其中所述GPU工作者节点包含不具有除运行所述工作者作业管理器的CPU外的所述CPU中的任一者的所述GPU中的一或多者。
8.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括经配置以使用应用程序编程接口来与IMC客户端通信的接口层。
9.根据权利要求1所述的系统，其中所述工作者作业管理器中的每一者包含具有深度学习模型的模块，其中所述深度学习模型经配置以将所述接收的作业中的所述任务中的每一者指派到所述工作者节点中的所述CPU中的一者或所述GPU中的一者。
10.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括与所述GPU电子通信的神经网络。
11.根据权利要求1所述的系统，其中所述主节点与处理工具电子通信，其中所述处理工具包含半导体检查工具或半导体计量工具。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于科磊股份有限公司，未经科磊股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201880030424.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于使用可变级并行执行数据处理操作的系统和方法
- 下一篇：跨服务转换通信会话
