[发明专利]防尘透镜及其制造方法在审
| 申请号： | 201880031151.X | 申请日： | 2018-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN110869818A | 公开（公告）日： | 2020-03-06 |
| 发明（设计）人： | 川岸秀一朗;白石幸一郎 | 申请（专利权）人： | HOYA株式会社 |
| 主分类号： | G02B1/116 | 分类号： | G02B1/116;C23C14/08;G02B1/16;G02B3/00 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;唐瑞庭 |
| 地址： | 日本东京都新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 防尘 透镜 及其 制造 方法 | ||
1.一种防尘透镜，其特征在于，
在玻璃透镜的表面上至少形成有导电性膜，
所述导电性膜通过由TiO2以及Ti3O5中的至少一个形成的氧化钛的单层或者含有50％以上的所述氧化钛的混合层形成，
所述导电性膜的膜厚为1nm以上，
所述导电性膜的面内方向的结晶粒径为200nm以上。
2.根据权利要求1所述的防尘透镜，其特征在于，在所述玻璃透镜的表面上形成有所述导电性膜的单层膜。
3.根据权利要求1所述的防尘透镜，其特征在于，
在所述玻璃透镜的表面上形成有包含所述导电性膜的防反射膜，
所述防反射膜的最外层由折射率低于所述玻璃透镜的低折射率膜形成。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的防尘透镜，其特征在于，在所述玻璃透镜的表面上形成的膜的表面电阻为1013(Ω/口)以下。
5.一种防尘透镜的制造方法，其特征在于，
包括在玻璃透镜的表面上至少形成导电性膜的工序，
在形成所述导电性膜的工序中，以1nm以上的膜厚且面内方向的结晶粒径为200nm以上的方式，形成由TiO2以及Ti3O5中的至少一个构成的氧化钛的单层、或者含有50％以上的所述氧化钛的混合层。
6.根据权利要求5所述的防尘透镜的制造方法，其特征在于，通过气相沉积法成膜所述导电性膜时的基板加热温度为250℃以上。
7.根据权利要求5或权利要求6所述的防尘透镜的制造方法，其特征在于，在5.0×10-3Pa以上的气压下导入成膜所述导电性膜时的氧气。
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