[发明专利]带电粒子源模块

权利要求书

1.一种用于产生带电粒子束的带电粒子源装置，包括：

-发射器装置，所述发射器装置被配置用于发射带电粒子；

-电极，所述电极用于从由所述发射器装置发射的所述带电粒子形成带电粒子束；和

-平行于由所述发射器装置和所述电极限定的光轴取向的一个或多个非导电支撑件，其中所述一个或多个支撑件中的每一个与所述发射器装置的外周以及与所述电极的外周连接，并且其中所述一个或多个支撑件维持所述发射器装置和所述电极相对于彼此的取向和/或位置，

其中所述电极通过挠曲连接件来与所述一个或多个支撑件连接，

其中所述电极和/或所述发射器装置包括用于连接电线的一个或多个电线连接件，其中所述一个或多个电线连接件中的至少一个被布置在所述挠曲连接件上。

2.根据权利要求1所述的带电粒子源装置，其中所述一个或多个电线连接件位于所述挠曲连接件的一部分处，在所述挠曲连接件的所述一部分处所述挠曲连接件相对于所述支撑件的位置和/或取向固定。

3.根据权利要求1或2所述的带电粒子源装置，其中所述电极包括具有束孔径的板状电极主体，所述束孔径相对于所述光轴居中。

4.根据权利要求3所述的带电粒子源装置，其中所述挠曲连接件包括设置在所述板状电极主体的外周处的连接唇，其中所述连接唇在所述连接唇与所述板状电极主体之间限定狭缝。

5.根据权利要求4所述的带电粒子源装置，其中所述一个或多个电线连接件中的所述至少一个被布置在所述挠曲连接件的所述连接唇的远端上。

6.根据权利要求1或2所述的带电粒子源装置，其中所述带电粒子源装置包括两个或更多电极，用于从由所述发射器装置发射的所述带电粒子形成带电粒子束，其中所述两个或更多电极中的至少一个刚性地连接到所述一个或多个支撑件。

7.根据权利要求6所述的带电粒子源装置，其中所述两个或更多电极中的最下游电极刚性地连接到所述一个或多个支撑件。

8.根据权利要求1或2所述的带电粒子源装置，其中所述发射器装置包括用于发射所述带电粒子的阴极，其中所述阴极被接纳在阴极承载元件内，所述阴极承载元件通过挠曲连接件而连接至所述一个或多个支撑件。

9.根据权利要求8所述的带电粒子源装置，其中所述阴极承载元件包括具有阴极孔径的板状承载主体，所述阴极孔径用于接纳所述阴极的至少一部分。

10.根据权利要求9所述的带电粒子源装置，其中所述挠曲连接件包括设置在所述板状承载主体的外周处的连接唇，其中所述连接唇在所述连接唇与所述板状承载主体之间限定狭缝。

11.根据权利要求1或2所述的带电粒子源装置，还包括框架，所述框架包括第一框架部分、第二框架部分和布置在所述第一框架部分和所述第一框架部分之间的一个或多个刚性支撑构件、以及布置在所述第一框架部分上的电力连接组件，其中所述带电粒子源装置被布置在所述第二框架部分上，并经由电线电连接至所述电力连接组件。

12.一种用于产生和发射带电粒子束的带电粒子源模块，包括：

-框架，所述框架包括第一框架部分、第二框架部分以及布置在所述第一框架部分和所述第二框架部分之间的一个或多个刚性支撑构件；

-根据权利要求1-11中任一项所述的带电粒子源装置，其中所述带电粒子源装置被布置在所述第二框架部分处；和

-布置在所述第一框架部分处的电力连接组件，

其中所述带电粒子源装置经由电线电连接至所述电力连接组件。

13.根据权利要求12所述的带电粒子源模块，其中所述第一框架部分包括第一刚性框架部分，所述第二框架部分包括第二刚性框架部分，并且所述一个或多个刚性支撑构件被刚性连接到所述第一刚性框架部分和所述第二刚性框架部分。