[发明专利]器件的检查方法

权利要求书

1.一种器件的检查方法，利用测试器对形成在基板上的多个器件进行包括多个模式的电特性的检查，所述器件的检查方法的特征在于，包括以下工序：

第一工序，对与所述测试器并联连接的、所述基板上的多个器件同时输入规定的模式的检查信号来开始规定的模式的检查；

第二工序，在所述规定的模式中判定是否包括不合格的器件；

第三工序，在所述第二工序中判定为包括不合格的器件的情况下，针对所述多个器件的各器件依次执行所述规定的模式来进行合格或不合格的判定；以及

第四工序，将通过所述第三工序被判定为不合格的器件排除，

其中，针对被排除的所述器件以外的器件进行之后的检查。

2.根据权利要求1所述的器件的检查方法，其特征在于，

在所述第二工序中，根据对所述多个器件输入所述检查信号之后的多个器件的响应信号的合成值是否达到规定的阈值，来判定是否包括不合格的器件。

3.根据权利要求2所述的器件的检查方法，其特征在于，

在所述第二工序中，监视发送所述检查信号之后的时间，在经过规定时间后响应信号没有达到阈值的情况下判定为包括不合格的器件，或者，以规定间隔发送检查信号并监视发送的次数，在经过规定次数后响应信号没有达到阈值的情况下判定为包括不合格的器件。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的器件的检查方法，其特征在于，

在所述第三工序中，根据对所述多个器件中的规定的器件输入所述检查信号之后的响应信号是否达到规定的阈值，来进行所述规定的器件的合格或不合格的判定。

5.根据权利要求4所述的器件的检查方法，其特征在于，

在所述第三工序中，监视向所述多个器件中的规定的器件发送所述检查信号之后的时间，在经过规定时间后响应信号没有达到阈值的情况下判定为所述规定的器件不合格，或者，以规定间隔发送检查信号并监视发送的次数，在经过规定次数后响应信号没有达到阈值的情况下判定为所述规定的器件不合格。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的器件的检查方法，其特征在于，

在所述第四工序之后，对被排除的所述器件以外的器件进行下一个模式的检查。

7.根据权利要求1至5中的任一项所述的器件的检查方法，其特征在于，

在所述第四工序之后，对被排除的所述器件以外的器件进行所述规定的模式的检查的剩余部分。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的器件的检查方法，其特征在于，

第三工序在仅将一个器件连接于所述测试器而未连接其它器件的状态下进行。

9.一种器件的检查方法，利用测试器对形成在基板上的多个器件进行包括多个模式的电特性的检查，所述器件的检查方法的特征在于，包括以下工序：

第一工序，对与所述测试器并联连接的、所述基板上的多个器件同时输入规定的模式的检查信号来开始规定的模式的检查；

第二工序，在所述规定的模式下掌握不合格的器件的个数；

第三工序，在所述第二工序中检测出一个以上的不合格的器件的情况下，针对所述多个器件的各器件依次执行所述规定的模式来进行合格或不合格的判定；以及

第四工序，将通过所述第三工序被判定为不合格的器件排除，

其中，所述第三工序在被判定为不合格的个数为通过所述第二工序掌握到的个数的时间点结束，

针对被排除的所述器件以外的器件进行之后的检查。

10.根据权利要求9所述的器件的检查方法，其特征在于，

在所述第二工序中，将对所述多个器件输入所述检查信号之后多个器件的响应信号的合成值与预先设定的阈值进行比较，在该合成值没有达到所述阈值的情况下，判定为所述多个器件中的一个以上的器件不合格，

并且，通过重复执行以下过程来检测不合格的器件的个数：设定与所述阈值不同的新的阈值；使用所述新的阈值，从所述测试器对所述多个器件同时输入所述检查信号；以及根据基于所述检查信号的所述响应信号的所述合成值，来判定是否为所述多个器件中的一个以上不合格。