[发明专利]半导体制造装置的管理系统、方法及计算机程序

权利要求书

1.一种半导体制造装置的管理系统，管理由集成的多个部件构成的半导体制造装置，

管理所述半导体制造装置的管理者所使用的管理者终端与保持所述半导体制造装置的部件信息的信息处理装置被构成为能够经由网络进行通信，

所述管理者终端具有：

拍摄单元，其拍摄所述半导体制造装置；

部件信息接收单元，其从所述信息处理装置接收所述半导体制造装置的部件信息；

确定处理单元，其针对所述半导体制造装置的拍摄图像，确定构成所述半导体制造装置的部件的位置；

合成处理单元，其针对所述半导体制造装置的拍摄图像，生成在经确定的所述部件的位置处合成经确定的所述部件的部件信息而成的合成图像；以及

图像显示单元，其显示所述合成图像，

所述信息处理装置具有：

部件信息存储单元，其存储构成所述半导体制造装置的部件的部件信息；

提取处理单元，其参照所述部件信息存储单元来提取所述部件信息；以及

部件信息发送单元，其对所述管理者终端发送所述部件信息。

2.根据权利要求1所述的半导体制造装置的管理系统，其中，

在所述半导体制造装置中，在给定的部位安装有标签，

所述确定处理单元针对所述半导体制造装置的拍摄图像，基于以所述标签的安装部位为基准的各部件的相对坐标，将构成所述半导体制造装置的部件的位置进行确定，

所述部件信息存储单元进一步存储以所述标签的安装部位为基准的各部件的相对坐标所涉及的信息作为部件信息。

3.根据权利要求1所述的半导体制造装置的管理系统，其中，

在所述半导体制造装置中，在4个以上的部件安装有给定的识别标记，

所述确定处理单元针对所述半导体制造装置的拍摄图像，基于以所述识别标记的安装部位为基准的各部件的相对坐标，将构成所述半导体制造装置的部件的位置进行确定，

所述部件信息存储单元进一步存储以所述识别标记的安装部位为基准的各部件的相对坐标所涉及的信息作为部件信息。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的半导体制造装置的管理系统，其中，

所述半导体制造装置的管理系统被构成为与所述半导体制造装置能够经由网络进行通信，

所述半导体制造装置具有：

传感信息发送单元，其对所述信息处理装置发送将各部件的动作状况进行传感而得到的传感信息，

所述信息处理装置还具有：

传感信息接收单元，其从所述半导体制造装置接收所述传感信息，以及

第一登记单元，其参照所述部件信息存储单元，登记所述传感信息作为所述部件信息。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的半导体制造装置的管理系统，其中，

所述管理者终端还具有：

输入单元，其从所述管理者接受在所述合成图像中指定给定的部件后的追加信息的输入，以及

追加信息发送单元，其对所述信息处理装置发送与所述给定的部件的指定一起输入的追加信息，

所述信息处理装置还具有：

第二登记单元，其参照所述部件信息存储单元，登记所述追加信息作为所述部件信息。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的半导体制造装置的管理系统，其中，

所述管理者终端还具有：

图像控制单元，其根据所述管理者终端的移动来检测移动量，并根据该移动量来控制所述合成图像。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的半导体制造装置的管理系统，其中，

所述管理者终端还具有：

录像单元，其对所述管理者基于所述合成图像进行的操作进行录像。